各向异性导电薄板及阻抗测定用探针

    公开(公告)号:CN1685240A

    公开(公告)日:2005-10-19

    申请号:CN03822964.1

    申请日:2003-08-26

    Abstract: 本发明公布了一种能用于1GHz以上的高频区域、特别是10GHz以上的高频区域中的阻抗测定的各向异性导电薄板及在阻抗测定时能抑制在被测基板上产生损伤,同时可以得到高测量可靠性的阻抗测量用探针。本发明的各向异性导电薄板,是在由弹性高分子物质构成的薄板基体中包含在面方向上分散、在厚度方向并列那样定向的状态的显示磁性的导电性粒子而成,其厚度W1是10~100μm,上述导电性粒子的数均粒径D是5~50μm,同时W1/D之比是1.1~10,上述导电性粒子的含有比例按重量比是10~40%,可以用于高频区域的阻抗测定。本发明的阻抗测量用探针,装有上述的各向异性导电薄板,可在高频区域中使用。

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