公开(公告)号：CN105992835A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201580005770.8

申请日：2015-01-21

申请人： II-VI有限公司

发明人： W-Q·许 ,  埃尔金·E·伊斯勒 ,  C·刘 ,  查尓斯·D·坦纳 ,  查尓斯·J·克莱辛格尔 ,  迈克尔·阿格哈亚尼安

IPC分类号： C23C16/27 ,  C23C16/46 ,  C23C16/56 ,  C23C28/04 ,  C01B31/06 ,  C04B41/50

CPC分类号： C30B25/02 ,  C01B32/25 ,  C04B35/52 ,  C04B35/565 ,  C04B35/573 ,  C04B35/634 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5002 ,  C04B41/85 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/427 ,  C04B2235/5427 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/602 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  C23C16/274 ,  C23C16/279 ,  C23C16/463 ,  C23C16/56 ,  C23C28/04 ,  C23C28/046 ,  Y10T428/21 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24612 ,  Y10T428/24893 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/30 ,  C04B41/4531

摘要： 多层基板包括在复合层上CVD生长的金刚石层。该复合层包括金刚石和碳化硅与任选的硅的颗粒。该复合层中的金刚石的载荷水平(按体积计)可为≥5％、≥20％、≥40％、或≥60％。该多层基板能够用作光学器件；用于检测辐射粒子或电磁波的检测器；用于切割、钻孔、机械加工、碾磨、研磨、抛光、涂布、粘结、或钎焊的装置；制动装置；密封条；导热体；电磁波导体；在升高的温度下或在低温条件下用于腐蚀性环境、强氧化性环境、或强还原性环境的化学惰性装置；或用于抛光或平坦化其它器件、晶圆或膜的装置。

公开(公告)号：CN114411118A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210096370.4

申请日：2015-01-21

申请人： II-VI有限公司

发明人： W-Q·许 ,  埃尔金·E·伊斯勒 ,  C·刘 ,  查尓斯·D·坦纳 ,  查尓斯·J·克莱辛格尔 ,  迈克尔·阿格哈亚尼安

IPC分类号： C23C16/27 ,  C23C16/32 ,  C23C16/44 ,  C23C16/46 ,  C23C16/56 ,  G01N21/65 ,  C04B41/50 ,  C23C16/24

摘要： 多层基板包括在复合层上CVD生长的金刚石层。该复合层包括金刚石和碳化硅与任选的硅的颗粒。该复合层中的金刚石的载荷水平(按体积计)可为≥5％、≥20％、≥40％、或≥60％。该多层基板能够用作光学器件；用于检测辐射粒子或电磁波的检测器；用于切割、钻孔、机械加工、碾磨、研磨、抛光、涂布、粘结、或钎焊的装置；制动装置；密封条；导热体；电磁波导体；在升高的温度下或在低温条件下用于腐蚀性环境、强氧化性环境、或强还原性环境的化学惰性装置；或用于抛光或平坦化其它器件、晶圆或膜的装置。