公开(公告)号：CN101076705A

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：CN200580013467.9

申请日：2005-03-11

Applicant: ICOS视检系统有限公司

Inventor： 约埃尔·阿里耶利 ,  谢伊·韦尔夫林 ,  埃曼努埃尔·兰兹曼 ,  加夫里尔·费金 ,  塔尔·库兹涅兹 ,  约拉姆·萨班

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02087 ,  G01B11/0625 ,  G01B11/0641 ,  G01B11/0675 ,  G01B11/24

Abstract: 执行波前分析，包括相位和振幅信息，与在光学系统中的3D测量的方法和装置，并且特别是那些基于分析光学系统的中间平面，例如一个图像平面的输出。描述了存在薄膜涂层的情况下，表面形貌，或一个多层结构的各层的测量。结合相位和振幅映射的多波长分析被使用。描述了使用有效波前传播，基于Maxwell方程的解，通过波前传播和重聚焦来改进相位和表面形貌测量的方法。通过这种相位控制方法，或通过使用宽带和相干光源结合的方法，实现了在光学成像系统中的相干噪声的减少。通过改进反差或通过3D成像，在单镜头成像中，这些方法适用于集成电路检查，以改进交叠测量技术。

公开(公告)号：CN100485312C

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200580013467.9

申请日：2005-03-11

Applicant: ICOS视检系统有限公司

Inventor： 约埃尔·阿里耶利 ,  谢伊·韦尔夫林 ,  埃曼努埃尔·兰兹曼 ,  加夫里尔·费金 ,  塔尔·库兹涅兹 ,  约拉姆·萨班

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02087 ,  G01B11/0625 ,  G01B11/0641 ,  G01B11/0675 ,  G01B11/24

Abstract: 执行波前分析，包括相位和振幅信息，与在光学系统中的3D测量的方法和装置，并且特别是那些基于分析光学系统的中间平面，例如一个图像平面的输出。描述了存在薄膜涂层的情况下，表面形貌，或一个多层结构的各层的测量。结合相位和振幅映射的多波长分析被使用。描述了使用有效波前传播，基于Maxwell方程的解，通过波前传播和重聚焦来改进相位和表面形貌测量的方法。通过这种相位控制方法，或通过使用宽带和相干光源结合的方法，实现了在光学成像系统中的相干噪声的减少。通过改进反差或通过3D成像，在单镜头成像中，这些方法适用于集成电路检查，以改进交叠测量技术。