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发明公开
具有中心装载孔的晶体生长装置及用于控制自坩埚热移除的设备和方法无效

公开(公告)号：CN102906313A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201180023513.9

申请日：2011-03-11

申请人： GTAT公司

发明人： 吴真明 , D·斯凯尔顿 , B·福拉诺

IPC分类号： C30B11/00

CPC分类号： C30B11/003 , C30B35/00 , Y10T117/1092

摘要： 本发明提供一种晶体生长装置，包括：坩埚，其配置在支撑机构上的坩埚，且至少两个平板形成于该支撑机构下并能以协同方式移动而形成以该坩埚中所形成的锭为中心的对称孔；以及驱动机构，其用以驱动具有一个自由度的该平板。该平板于多个不连续的位置展开以形成对应所形成的锭而中心装载的孔，以便提升所形成的该锭的定向固化，并因而达到该锭的所需的凸面外形。