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公开(公告)号：CN103459975A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280017852.0
申请日：2012-04-16
申请人： FEI公司
CPC分类号： G02B21/16 , G01N21/64 , G01N21/6458 , G02B21/18 , G02B21/361
摘要： 本发明涉及一种显微镜布置，该显微镜布置被提供有：显微镜（10），该显微镜包括至少两个用于输出荧光信号的光输出端（12，14）和用于切换这这些光输出端之间的荧光信号的输出的切换布置（16）；分束器布置（18）；光学元件（28，30），这些光学元件用于以如下方式生成与每个输出端相关联的分离的部分光束路径（24，26）：这些输出端各自的对应的荧光信号通过对应的部分光束路径后在该分束器布置处叠加；以及还有至少两个光学探测器（20，22），其中，对于这些部分光束路径中的每一条而言，在反射时，这些探测器之一位于该分束器后面（从该显微镜观看），以及在透射时，这些探测器中的另一个位于该分束器布置的后面（从该显微镜观看）。
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公开(公告)号：CN103890633B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280047584.7
申请日：2012-09-28
申请人： FEI公司 , 提尔埃蒂有限责任公司
CPC分类号： G02B21/06 , G01N21/6458 , G02B21/0032 , G02B21/14 , G02B21/367 , G02B27/58
摘要： 一种显微镜具有物镜、在照明束路径上照亮样品的光源、在样品上产生在两个空间方向上结构化的扁平照明图案的安排、在一条图片束路径上对入射光进行检测的表面检测器、在样品上在一个位移方向上对照明图案进行移位的安排、以及控制单元，该控制单元在检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着位移方向的不同位置处的相位图片并且用于从这些相位图片计算地对所照亮的样品区域的整体图片进行重建。位移方向向照明图案的主对称轴倾斜并且取决于该照明图案被选择成使得图片重建所需的相位图片的数量符合理论最小要求值。
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公开(公告)号：CN103890633A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280047584.7
申请日：2012-09-28
申请人： FEI公司
CPC分类号： G02B21/06 , G01N21/6458 , G02B21/0032 , G02B21/14 , G02B21/367 , G02B27/58
摘要： 一种显微镜具有物镜、在照明束路径上照亮样品的光源、在样品上产生在两个空间方向上结构化的扁平照明图案的安排、在一条图片束路径上对入射光进行检测的表面检测器、在样品上在一个位移方向上对照明图案进行移位的安排、以及控制单元，该控制单元在检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着位移方向的不同位置处的相位图片并且用于从这些相位图片计算地对所照亮的样品区域的整体图片进行重建。位移方向向照明图案的主对称轴倾斜并且取决于该照明图案被选择成使得图片重建所需的相位图片的数量符合理论最小要求值。
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