公开(公告)号：CN103890633B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201280047584.7

申请日：2012-09-28

申请人： FEI公司 ,  提尔埃蒂有限责任公司

发明人： R.乌尔 ,  M.施罗普

IPC分类号： G02B21/00 ,  G01N21/63

CPC分类号： G02B21/06 ,  G01N21/6458 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/14 ,  G02B21/367 ,  G02B27/58

摘要： 一种显微镜具有物镜、在照明束路径上照亮样品的光源、在样品上产生在两个空间方向上结构化的扁平照明图案的安排、在一条图片束路径上对入射光进行检测的表面检测器、在样品上在一个位移方向上对照明图案进行移位的安排、以及控制单元，该控制单元在检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着位移方向的不同位置处的相位图片并且用于从这些相位图片计算地对所照亮的样品区域的整体图片进行重建。位移方向向照明图案的主对称轴倾斜并且取决于该照明图案被选择成使得图片重建所需的相位图片的数量符合理论最小要求值。

公开(公告)号：CN103890633A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280047584.7

申请日：2012-09-28

申请人： FEI公司

发明人： R.乌尔 ,  M.施罗普

IPC分类号： G02B21/00 ,  G01N21/63

CPC分类号： G02B21/06 ,  G01N21/6458 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/14 ,  G02B21/367 ,  G02B27/58

摘要： 一种显微镜具有物镜、在照明束路径上照亮样品的光源、在样品上产生在两个空间方向上结构化的扁平照明图案的安排、在一条图片束路径上对入射光进行检测的表面检测器、在样品上在一个位移方向上对照明图案进行移位的安排、以及控制单元，该控制单元在检测器检测到光时拍摄一张图片作为该图案沿着位移方向的不同位置处的相位图片并且用于从这些相位图片计算地对所照亮的样品区域的整体图片进行重建。位移方向向照明图案的主对称轴倾斜并且取决于该照明图案被选择成使得图片重建所需的相位图片的数量符合理论最小要求值。