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公开(公告)号：CN105200394A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510347983.0
申请日：2015-06-23
Applicant: FEI公司
IPC: C23C16/448
Abstract: 提供了一种使用利用成角度的射束的带电粒子射束沉积产生对称沉积的系统。在过去，使用具有非正交入射角的FIB产生沉积，该沉积朝向FIB射束路径生长，从而使得难以产生沉积物的均匀性。利用本发明，即使在使用非正交FIB的情况下也得到对称的沉积。
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