公开(公告)号：CN103403520B

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201280006697.2

申请日：2012-01-28

Applicant: FEI公司

Inventor： J.布莱克伍德 ,  M.布雷 ,  C.塞诺维奇 ,  C.巴格

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  G01N2001/2886 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/31745

Abstract: 一种制备超薄TEM样品的改进的方法，该方法将背面打薄与附加清洁步骤组合起来以清除朝向FIB的基底表面上的表面缺陷。此附加步骤导致产生清洁、均匀的硬掩模，该硬掩模控制样品打薄的最终结果，并且允许可靠并且稳健地制备具有小至10nm范围厚度的样品。

公开(公告)号：CN103403520A

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201280006697.2

申请日：2012-01-28

Applicant: FEI公司

Inventor： J.布莱克伍德 ,  M.布雷 ,  C.塞诺维奇 ,  C.巴格

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01N1/286 ,  G01N2001/2886 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/31745

Abstract: 一种制备超薄TEM样品的改进的方法，该方法将背面打薄与附加清洁步骤组合起来以清除朝向FIB的基底表面上的表面缺陷。此附加步骤导致产生清洁、均匀的硬掩模，该硬掩模控制样品打薄的最终结果，并且允许可靠并且稳健地制备具有小至10nm范围厚度的样品。

公开(公告)号：CN104049097A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410094387.1

申请日：2014-03-14

Applicant: FEI公司

Inventor： M.施米德特 ,  S.斯通 ,  C.塞诺维奇

IPC: G01N35/10

CPC classification number: H01J37/3023 ,  G01N1/286 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明公开了一种提取和处理多个样品用于S/TEM分析的改进的方法。本发明的优选实施例利用一种在堆叠形成中一次附接多个样品的显微操纵器和一种将每个样品放置到TEM栅格上的方法。通过使用一种允许加工多个样品的方法，样品制备的生产能力得到显著提高。