公开(公告)号：CN103065917B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201210399492.7

申请日：2012-10-19

Applicant: FEI公司

Inventor： M.比肖夫 ,  B.里格

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N23/20 ,  H01J37/153 ,  H01J37/20 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及用于调整配备有像差校正器的STEM的方法。本发明涉及一种用于使用晶体样品调整STEM中的Cs校正器的方法。该方法包括记录离焦系列，将所获得的图像转换到傅立叶空间，因此形成如同衍射图像的图像集合。通过随后确定傅立叶图像的对称，可以对校正器进行调谐以获得更好的对称，并且通过确定斑点距中心的最大距离，可以确定转移极限。通过重复地执行这些步骤，可以将校正器调谐到其最优性能。

公开(公告)号：CN103065917A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201210399492.7

申请日：2012-10-19

Applicant: FEI公司

Inventor： M.比肖夫 ,  B.里格

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N23/20 ,  H01J37/153 ,  H01J37/20 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及用于调整配备有像差校正器的STEM的方法。本发明涉及一种用于使用晶体样品调整STEM中的Cs校正器的方法。该方法包括记录离焦系列，将所获得的图像转换到傅立叶空间，因此形成如同衍射图像的图像集合。通过随后确定傅立叶图像的对称，可以对校正器进行调谐以获得更好的对称，并且通过确定斑点距中心的最大距离，可以确定转移极限。通过重复地执行这些步骤，可以将校正器调谐到其最优性能。