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1.

发明授权
用于接合至少三个衬底的方法有权

公开(公告)号：CN110383446B

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN201780087843.1

申请日：2017-03-16

Applicant: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司

Inventor： T.格林斯内 , T.瓦根莱特内 , H.扎格迈尔

IPC: H01L21/67 , H01L21/68

Abstract: 本发明涉及用于将至少三个衬底（4o，4u，4，4'，4''，4'''，4o'）接合为衬底堆叠（9,9'，9''）的方法，其中所述衬底堆叠（9，9'，9''）具有至少一个最下面的衬底（4u，4）、中间衬底（4o，4'）和上衬底（4o'，4''），具有以下步骤：‑将所述中间衬底（4o，4'）对准到所述最下面的衬底（4u，4）并且将所述中间衬底（4o，4'）与所述最下面的衬底（4u，4）接合，‑然后将所述上衬底（4o'，4''）对准并且将所述上衬底（4o'，4''）与所述中间衬底（4o，4）接合，其特征在于，将所述上衬底（4o'，4''）对准到所述最下面的衬底（4u，4）。

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