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公开(公告)号：CN103219265B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310126332.X
申请日：2011-03-29
申请人： EV集团有限责任公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 用于借助如下装置使产品衬底与通过连接层同该产品衬底连接的载体衬底脱离的设备：膜框架；与该膜框架连接的柔性膜，所述柔性膜在膜的接触面区段中具有用于容纳产品衬底的粘结层，其中该膜在膜的围绕接触面区段的附着区段中与膜框架连接；以及通过膜框架和膜形成的、尤其是容积变化的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，其中产品衬底和连接层可被容纳在该储溶剂器中；和用于将溶剂引入储溶剂器中的引入装置以及用于使产品衬底与载体衬底脱离的脱离装置。此外，本发明还涉及一种用于通过如下方式来使产品衬底与和产品衬底脱离的方法：构造通过膜框架和与膜框架连接的柔性膜形成的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，以及将产品衬底和连接层容纳在储溶剂器中以及将溶剂引入储溶剂器中并且使产品衬底与载体衬底脱离。
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公开(公告)号：CN103620732A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201180011757.5
申请日：2011-03-29
申请人： EV集团有限责任公司
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 用于借助如下装置使产品衬底与通过连接层同该产品衬底连接的载体衬底脱离的设备：膜框架；与该膜框架连接的柔性膜，所述柔性膜在膜的接触面区段中具有用于容纳产品衬底的粘结层，其中该膜在膜的围绕接触面区段的附着区段中与膜框架连接；以及通过膜框架和膜形成的、尤其是容积变化的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，其中产品衬底和连接层可被容纳在该储溶剂器中；和用于将溶剂引入储溶剂器中的引入装置以及用于使产品衬底与载体衬底脱离的脱离装置。此外，本发明还涉及一种用于通过如下方式来使产品衬底与和产品衬底脱离的方法：构造通过膜框架和与膜框架连接的柔性膜形成的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，以及将产品衬底和连接层容纳在储溶剂器中以及将溶剂引入储溶剂器中并且使产品衬底与载体衬底脱离。
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公开(公告)号：CN103219265A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310126332.X
申请日：2011-03-29
申请人： EV集团有限责任公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 用于借助如下装置使产品衬底与通过连接层同该产品衬底连接的载体衬底脱离的设备：膜框架；与该膜框架连接的柔性膜，所述柔性膜在膜的接触面区段中具有用于容纳产品衬底的粘结层，其中该膜在膜的围绕接触面区段的附着区段中与膜框架连接；以及通过膜框架和膜形成的、尤其是容积变化的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，其中产品衬底和连接层可被容纳在该储溶剂器中；和用于将溶剂引入储溶剂器中的引入装置以及用于使产品衬底与载体衬底脱离的脱离装置。此外，本发明还涉及一种用于通过如下方式来使产品衬底与和产品衬底脱离的方法：构造通过膜框架和与膜框架连接的柔性膜形成的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，以及将产品衬底和连接层容纳在储溶剂器中以及将溶剂引入储溶剂器中并且使产品衬底与载体衬底脱离。
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公开(公告)号：CN103620732B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201180011757.5
申请日：2011-03-29
申请人： EV集团有限责任公司
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/025 , B32B43/006 , B32B2038/0052 , B32B2307/546 , B32B2310/0418 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/6715 , H01L21/67346 , H01L21/68721 , H01L21/68771 , H01L2221/68386 , Y10T156/1111 , Y10T156/1168 , Y10T156/1179 , Y10T156/19 , Y10T156/1922 , Y10T156/1928 , Y10T156/1978 , Y10T156/1983
摘要： 用于借助如下装置使产品衬底与通过连接层同该产品衬底连接的载体衬底脱离的设备：膜框架；与该膜框架连接的柔性膜，所述柔性膜在膜的接触面区段中具有用于容纳产品衬底的粘结层，其中该膜在膜的围绕接触面区段的附着区段中与膜框架连接；以及通过膜框架和膜形成的、尤其是容积变化的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，其中产品衬底和连接层可被容纳在该储溶剂器中；和用于将溶剂引入储溶剂器中的引入装置以及用于使产品衬底与载体衬底脱离的脱离装置。此外，本发明还涉及一种用于通过如下方式来使产品衬底与和产品衬底脱离的方法：构造通过膜框架和与膜框架连接的柔性膜形成的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，以及将产品衬底和连接层容纳在储溶剂器中以及将溶剂引入储溶剂器中并且使产品衬底与载体衬底脱离。
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