公开(公告)号：CN102428566A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201080022310.3

申请日：2010-05-20

申请人： E.I.内穆尔杜邦公司

发明人： D·K·安德森 ,  R·D·安德森 ,  G·劳迪辛奥 ,  林政男 ,  高世铭 ,  吴隽夔

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01B1/16

CPC分类号： H01B1/16 ,  H01B1/22 ,  H01L31/022425 ,  Y02E10/50

摘要： 本发明涉及在具有ARC层的硅片上形成正面栅极的方法，所述方法包括以下步骤：(1)印刷并干燥金属浆料A，所述金属浆料A包含具有0.5-8重量％玻璃料的无机成分并且具有烧透能力，其中所述金属浆料A在所述ARC层上印刷成网格图案，所述网格图案包括：(i)形成底层指状线的薄的平行指状线以及(ii)与所述指状线以直角相交的母线，(2)在所述底层指状线上印刷并干燥金属浆料B以形成叠加在所述底层指状线上方的顶层指状线，所述金属浆料B包含具有0-3重量％玻璃料的无机成分，以及(3)焙烧所述双面印刷的硅片，其中与所述金属浆料A的无机成分相比，所述金属浆料B的无机成分包含较少的玻璃料和任选存在的其它无机添加剂。

公开(公告)号：CN102428568A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201080022318.X

申请日：2010-05-20

申请人： E.I.内穆尔杜邦公司

发明人： D·K·安德森 ,  R·D·安德森 ,  K·W·杭 ,  高世铭 ,  G·劳迪辛奥 ,  林政男 ,  吴隽夔

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01B1/16

CPC分类号： H01L31/022425 ,  C03C8/02 ,  C03C8/10 ,  C03C8/24 ,  Y02E10/50

摘要： 本发明涉及在具有ARC层的硅片上形成正面栅极的方法，所述方法包括以下步骤：(1)印刷并干燥金属浆料A，所述金属浆料A包含具有0.5-8重量％玻璃料的无机成分并且具有烧透能力，其中所述金属浆料A印刷在所述ARC层以形成底层的薄的平行指状线，(2)在所述底层指状线上印刷并干燥金属浆料B以形成叠加在所述底层指状线上方的顶层指状线，所述金属浆料B包含具有0-3重量％玻璃料的无机成分，(3)印刷并干燥金属浆料C以形成与所述指状线垂直相交的母线，所述金属浆料C包含具有0.2-3重量％玻璃料的无机成分，以及(4)焙烧所述三面印刷的硅片，其中与金属浆料A的所述无机成分相比，金属浆料B和浆料C的所述无机成分包含较低含量的玻璃料和任选存在的其他无机添加剂。

公开(公告)号：CN102428567B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201080022316.0

申请日：2010-05-20

申请人： E.I.内穆尔杜邦公司

发明人： R·D·安德森 ,  K·W·杭 ,  高世铭 ,  G·劳迪辛奥 ,  林政男 ,  吴隽夔

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01B1/16

CPC分类号： H01L31/022433 ,  C03C8/02 ,  C03C8/10 ,  C03C8/24 ,  H01B1/16 ,  H01L31/022425 ,  Y02E10/50

摘要： 本发明涉及在具有ARC层的硅片上形成正面栅极的方法，所述方法包括以下步骤：(1)印刷并干燥金属浆料A，所述金属浆料A包含具有0.5-8重量％玻璃料的无机成分并且具有烧透能力，其中所述金属浆料A印刷在所述ARC层上以形成底层的薄的平行指状线，(2)在所述底层指状线上印刷并干燥金属浆料B，所述金属浆料B包含具有0.2-3重量％玻璃料的无机成分，其中所述金属浆料B印刷成网格图案，所述网格图案包括：(i)薄的平行指状线，所述薄的平行指状线形成叠加在所述底层指状线上方的顶层指状线以及(ii)与所述指状线以直角相交的母线，以及(3)焙烧所述双面印刷的硅片，其中与所述金属浆料A的无机成分相比，所述金属浆料B的无机成分包含较少的玻璃料和任选存在的其它无机添加剂。

公开(公告)号：CN102428567A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201080022316.0

申请日：2010-05-20

申请人： E.I.内穆尔杜邦公司

发明人： R·D·安德森 ,  K·W·杭 ,  高世铭 ,  G·劳迪辛奥 ,  林政男 ,  吴隽夔

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01B1/16

CPC分类号： H01L31/022433 ,  C03C8/02 ,  C03C8/10 ,  C03C8/24 ,  H01B1/16 ,  H01L31/022425 ,  Y02E10/50

摘要： 本发明涉及在具有ARC层的硅片上形成正面栅极的方法，所述方法包括以下步骤：(1)印刷并干燥金属浆料A，所述金属浆料A包含具有0.5-8重量％玻璃料的无机成分并且具有烧透能力，其中所述金属浆料A印刷在所述ARC层上以形成底层的薄的平行指状线，(2)在所述底层指状线上印刷并干燥金属浆料B，所述金属浆料B包含具有0.2-3重量％玻璃料的无机成分，其中所述金属浆料B印刷成网格图案，所述网格图案包括：(i)薄的平行指状线，所述薄的平行指状线形成叠加在所述底层指状线上方的顶层指状线以及(ii)与所述指状线以直角相交的母线，以及(3)焙烧所述双面印刷的硅片，其中与所述金属浆料A的无机成分相比，所述金属浆料B的无机成分包含较少的玻璃料和任选存在的其它无机添加剂。