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发明授权
适用作光刻胶的聚合物和正性光刻胶组合物失效

公开(公告)号：CN1208688C

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：CN99807271.0

申请日：1999-06-02

Applicant: AZ电子材料日本株式会社

Inventor： I·麦克洛克 , A·J·伊斯特 , M·坎格 , R·克斯安 , H-N·尤恩

IPC: G03F7/039 , C08G67/04

CPC classification number: C08G67/04 , G03F7/039

Abstract: 一种聚合物，当同适宜的光酸生成剂(PAG)使用时，生成正性光刻胶。该聚合物包括酒石酸聚酐的主链、缩醛保护的1，2-二醇基团和连接于主链的稠环缩醛侧基。缩醛保护的α-羟基酐主链进行有效的光酸催化的裂解生成小分子量片段，这些片段易溶于碱的含水的显影剂中。溶解度的高度差别使可以得到高分辨率图象，提供了耐蚀刻性的稠环包括金刚酮或将樟脑结构。随着加入市场购得的光酸生成剂，聚合物制剂形成正性光刻胶，可以提供高反差和高分辨率的图象。

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