公开(公告)号：CN102454733B

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201110327827.X

申请日：2011-10-25

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： C·A·胡根达姆 ,  M·A·W·苏吉皮尔斯 ,  B·F·瑞得斯脱 ,  R·C·G·吉森 ,  M·C·A·布伦

IPC: F16F1/22 ,  F16F15/04 ,  G03F7/20

CPC classification number: F16F1/10 ,  F16F1/027 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/7095

Abstract: 本发明公开了一种板弹簧、平台系统以及光刻设备。一种板弹簧，安装在两个物体之间，板弹簧配置成在两个正交方向上具有高的刚性且在其他自由度上具有相对低的刚性，其中所述板弹簧具有基本上板形主体，所述板弹簧包括第一安装位置，其位于板形主体的中心或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第一个，其中板弹簧包括一个或更多个第二安装位置，位于板形主体的周围或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第二个；和在所述板形主体中的在所述第一安装位置和第二安装位置之间的细长的凹槽和/或狭缝，所述凹槽和/或狭缝在所述两个正交方向的平面内沿至少两个非正交方向延伸。

公开(公告)号：CN102454733A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201110327827.X

申请日：2011-10-25

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： C·A·胡根达姆 ,  M·A·W·苏吉皮尔斯 ,  B·F·瑞得斯脱 ,  R·C·G·吉森 ,  M·C·A·布伦

IPC: F16F1/22 ,  F16F15/04 ,  G03F7/20

CPC classification number: F16F1/10 ,  F16F1/027 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/7095

Abstract: 本发明公开了一种板弹簧、平台系统以及光刻设备。一种板弹簧，安装在两个物体之间，板弹簧配置成在两个正交方向上具有高的刚性且在其他自由度上具有相对低的刚性，其中所述板弹簧具有基本上板形主体，所述板弹簧包括第一安装位置，其位于板形主体的中心或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第一个，其中板弹簧包括一个或更多个第二安装位置，位于板形主体的周围或附近以将板弹簧安装至所述两个物体中的第二个；和在所述板形主体中的在所述第一安装位置和第二安装位置之间的细长的凹槽和/或狭缝，所述凹槽和/或狭缝在所述两个正交方向的平面内沿至少两个非正交方向延伸。