公开(公告)号：CN113557475B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202080020074.5

申请日：2020-03-06

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： H·克里斯南 ,  J·H·里昂 ,  E·J·芒可曼 ,  V·A·佩雷斯-福尔肯

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H02N13/00

Abstract: 一种用于支撑衬底的静电夹具包括衬底区域、在衬底区域的边缘处的电极区域、支撑层、导电层、接触层和电极。支撑层具有本体，该本体具有基本上彼此平行并且设置在本体的相对侧的第一表面和第二表面。通孔被设置在电极区域中并且在第一表面与第二表面之间提供通路。导电层被设置在支撑层的第二表面上。接触层被设置在导电层上。接触层在电极区域中是不间断的并且在衬底区域中包括突节。当静电夹具支撑衬底时，突节接触衬底。电极设置在通孔中并且电耦合到导电层。

公开(公告)号：CN113557475A

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN202080020074.5

申请日：2020-03-06

Applicant: ASML控股股份有限公司

Inventor： H·克里斯南 ,  J·H·里昂 ,  E·J·芒可曼 ,  V·A·佩雷斯-福尔肯

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H02N13/00

Abstract: 一种用于支撑衬底的静电夹具包括衬底区域、在衬底区域的边缘处的电极区域、支撑层、导电层、接触层和电极。支撑层具有本体，该本体具有基本上彼此平行并且设置在本体的相对侧的第一表面和第二表面。通孔被设置在电极区域中并且在第一表面与第二表面之间提供通路。导电层被设置在支撑层的第二表面上。接触层被设置在导电层上。接触层在电极区域中是不间断的并且在衬底区域中包括突节。当静电夹具支撑衬底时，突节接触衬底。电极设置在通孔中并且电耦合到导电层。