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发明公开
使用可熔融材料在间隙内形成材料的方法和系统审中-实审

公开(公告)号：CN115896748A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211183310.2

申请日：2022-09-27

申请人： ASM IP私人控股有限公司

发明人： T.布兰夸特 , R.H.J.沃乌尔特 , J.德克斯

IPC分类号： C23C16/455 , C23C14/22 , C23C16/44

摘要： 公开了一种使用金属材料在衬底表面上的间隙内形成材料的方法和系统。一种示例性方法包括形成覆盖在衬底上的可熔融材料层，并将可熔融材料加热到流动温度，以形成在间隙内流动的熔融材料。