公开(公告)号：CN101171365B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200680015719.6

申请日：2006-05-04

Applicant: ASM吉尼泰克韩国株式会社

Inventor： 金大渊 ,  李政镐 ,  刘龙珉

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/45548 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/4554 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/5096

Abstract: 公开了一种反应器(200)，其配置用于使衬底经历交替重复的气相反应物的表面反应。反应器包括反应室、多个入口(210，212)和排出口(220)。反应室包含反应空间(251)。反应器也包括反应室内的气体流动控制引导结构(205)。气体流动控制引导结构(205)位于反应空间(251)上方，并且处于多个入口(210，212)和反应空间之间。气体流动控制引导结构(205)包含多个通道(210，212)，并且每个通道从入口之一延伸到反应空间的上游外缘。随着通道从入口延伸到反应空间(251)时，每个通道逐渐变宽。反应器还包括反应空间(251)内的衬底架(260)。

公开(公告)号：CN101171365A

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：CN200680015719.6

申请日：2006-05-04

Applicant: ASM吉尼泰克韩国株式会社

Inventor： 金大渊 ,  李政镐 ,  刘龙珉

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/45548 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/4554 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/5096

Abstract: 公开了一种反应器(200)，其配置用于使衬底经历交替重复的气相反应物的表面反应。反应器包括反应室、多个入口(210，212)和排出口(220)。反应室包含反应空间(251)。反应器也包括反应室内的气体流动控制引导结构(205)。气体流动控制引导结构(205)位于反应空间(251)上方，并且处于多个入口(210，212)和反应空间之间。气体流动控制引导结构(205)包含多个通道(210，212)，并且每个通道从入口之一延伸到反应空间的上游外缘。随着通道从入口延伸到反应空间(251)时，每个通道逐渐变宽。反应器还包括反应空间(251)内的衬底架(260)。

公开(公告)号：CN101696494B

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200910204154.1

申请日：2006-05-04

Applicant: ASM吉尼泰克韩国株式会社

Inventor： 金大渊 ,  李政镐 ,  刘龙珉

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45548 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/4554 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/5096

Abstract: 一种将反应物沉积到反应空间内的衬底上的方法，方法包含多个原子层沉积循环，每个循环包括：将第一反应物供应到反应空间；使第一反应物与衬底的表面反应；从反应空间除去过量的第一反应物；将第二反应物供应到反应空间；使第二反应物与衬底的表面反应；和从反应空间除去过量的第二反应物。

公开(公告)号：CN101696494A

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN200910204154.1

申请日：2006-05-04

Applicant: ASM吉尼泰克韩国株式会社

Inventor： 金大渊 ,  李政镐 ,  刘龙珉

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45548 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/4554 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/5096

Abstract: 一种将反应物沉积到反应空间内的衬底上的方法，方法包含多个原子层沉积循环，每个循环包括：将第一反应物供应到反应空间；使第一反应物与衬底的表面反应；从反应空间除去过量的第一反应物；将第二反应物供应到反应空间；使第二反应物与衬底的表面反应；和从反应空间除去过量的第二反应物。

公开(公告)号：CN301123456D

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200930000375.8

申请日：2009-02-12

Applicant: ASM吉尼泰克韩国株式会社

Designer： 李政镐 ,  郑相振 ,  金友赞

公开(公告)号：CN301123455D

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200930000374.3

申请日：2009-02-12

Applicant: ASM吉尼泰克韩国株式会社

Designer： 李政镐 ,  郑相振 ,  郑东洛

公开(公告)号：CN301098257D

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200830347957.9

申请日：2008-12-18

Applicant: ASM吉尼泰克韩国株式会社

Designer： 李政镐 ,  郑相振 ,  崔永锡