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公开(公告)号：CN216175148U
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202122572631.9
申请日：2021-10-25
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本实用新型涉及基板清洗装置(100)，基板清洗装置(100)将待输送的玻璃板(G)的正面和背面中的至少一个面作为被清洗面进行清洗，具备：盘刷(23)，一边旋转一边与玻璃板(G)的表面接触；框架(33)，支承盘刷(23)；及测力传感器(61)，设置于框架(33)而对施加于玻璃板(G)的表面的盘刷(23)的载荷进行测定。
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