制造纳米结构化柱形轧辊的方法

    公开(公告)号:CN109790639B

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN201780057092.9

    申请日:2017-09-12

    摘要: 本发明提供了一种使柱形工具图案化的方法,其包括:提供压模,所述压模包括基部和在所述基部上的固态离子导体的层;将预定特征图案的负片施加到所述固态离子导体的主表面;提供具有金属表面的柱形工具,使所述金属表面定位在所述压模附近;以及在所述金属表面和阴极之间施加电场,同时抵靠所述金属表面以滚动线接触的方式移动所述压模,以便将所述预定特征图案赋予到所述金属表面上,其中所述阴极为所述基部或与所述基部相邻定位的导电元件。所述预定特征图案的所述正片可包括多个纳米级特征。

    制造纳米结构化柱形轧辊的方法

    公开(公告)号:CN109790639A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780057092.9

    申请日:2017-09-12

    摘要: 本发明提供了一种使柱形工具图案化的方法,其包括:提供压模,所述压模包括基部和在所述基部上的固态离子导体的层;将预定特征图案的负片施加到所述固态离子导体的主表面;提供具有金属表面的柱形工具,使所述金属表面定位在所述压模附近;以及在所述金属表面和阴极之间施加电场,同时抵靠所述金属表面以滚动线接触的方式移动所述压模,以便将所述预定特征图案赋予到所述金属表面上,其中所述阴极为所述基部或与所述基部相邻定位的导电元件。所述预定特征图案的所述正片可包括多个纳米级特征。