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发明公开
包含具固有铁电性Hf-Zr的膜审中-实审

公开(公告)号：CN115516130A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180033920.1

申请日：2021-06-15

申请人： 默克专利股份有限公司

发明人： V·K·纳拉西穆罕 , J-S·M·莱恩 , K·利塔奥 , J·伍德拉夫 , R·坎乔利亚

IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/455 , H01L21/02 , H01L21/28 , H01L29/51

摘要： 所公开并要求保护的主题涉及结晶铁电材料，其包含氧化铪及氧化锆的混合物，具有大量(即约40％或更多)或大部分的该材料在沉积时(即不需要进一步加工诸如后续覆盖或退火)呈铁电相及用于制备及沉积这些材料的方法。