公开(公告)号：CN108139673B

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201680057594.7

申请日：2016-12-20

Applicant: 默克专利有限公司

Inventor： 姚晖蓉 ,  M·D·拉赫曼 ,  D·麦肯齐 ,  J·赵

IPC: G03F7/09 ,  C09D1/00 ,  C09D5/00

Abstract: 具有高金属含量的组合物，其包含金属盐溶液、稳定剂和一种或多种任选的添加剂，其中所述金属盐溶液包含金属离子、抗衡离子和溶剂。所述组合物可用于在制造固态和集成电路器件中在基底上形成膜。

公开(公告)号：CN103443161B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201280015041.7

申请日：2012-03-27

Applicant: 默克专利有限公司

Inventor： M·D·拉赫曼 ,  D·麦肯齐 ,  单槛会 ,  J·赵 ,  S·K·穆伦 ,  C·阿尼亚安迪格乌

IPC: C08G61/02 ,  C09D165/00 ,  G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  G03F1/46

CPC classification number: H01L21/3081 ,  C08G61/02 ,  C08G2261/3424 ,  C09D165/00 ,  G03F7/091 ,  H01L21/0276

Abstract: 本发明涉及抗反射涂层组合物，包含交联剂和能够通过该交联剂交联的可交联的聚合物，其中该可交联的聚合物包含结构(1)表示的单元，其中A是稠合芳环，B具有结构(2)，以及C是结构(3)的羟基联苯，(2)和(3)，其中R1是C1-C4烷基且R2是C1-C4烷基。本发明还涉及使用该组合物形成图像的方法。