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公开(公告)号:CN114730690A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202080079343.5
申请日:2020-11-16
Applicant: 鹰港科技有限公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 一些实施例包括一种高电压脉冲发生电路,包括:高电压脉冲发生电源;变压器,其与所述高电压脉冲发生电源电耦合;输出,其与所述变压器电耦合,并且配置为输出具有大于1kV的幅度、大于1kHz的脉冲重复频率的高电压脉冲;偏置补偿电路,其被布置为与所述输出并联,所述偏置补偿电路包括:第一电感,其包括电感元件和所述偏置补偿电路与所述高电压脉冲发生电源之间的任何杂散电感;和第二电感,其包括电感元件和所述偏置补偿电路与所述输出之间的任何杂散电感。
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公开(公告)号:CN112823405B
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN201980049940.0
申请日:2019-07-29
Applicant: 鹰港科技有限公司
Abstract: 公开一种高电压功率系统。在一些实施例中,所述高电压功率系统包括:高电压脉冲发生电源;变压器,其与所述高电压脉冲发生电源电耦合;输出,其与所述变压器电耦合,并且配置为输出具有大于1kV的幅度和大于1kHz的频率的高电压脉冲;和偏置补偿电路,其布置为与所述输出并联。在一些实施例中,所述偏置补偿电路可以包括:阻流二极管;和DC电源,其布置为与所述阻流二极管串联。
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公开(公告)号:CN112823405A
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN201980049940.0
申请日:2019-07-29
Applicant: 鹰港科技有限公司
Abstract: 公开一种高电压功率系统。在一些实施例中,所述高电压功率系统包括:高电压脉冲发生电源;变压器,其与所述高电压脉冲发生电源电耦合;输出,其与所述变压器电耦合,并且配置为输出具有大于1kV的幅度和大于1kHz的频率的高电压脉冲;和偏置补偿电路,其布置为与所述输出并联。在一些实施例中,所述偏置补偿电路可以包括:阻流二极管;和DC电源,其布置为与所述阻流二极管串联。
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公开(公告)号:CN115943735A
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN201980048964.4
申请日:2019-07-29
Applicant: 鹰港科技有限公司
Inventor: 艾丽亚·斯劳伯道夫 , 迪麦西·津巴 , 约翰·卡斯凯德 , 肯尼斯·米勒 , 华采姆·耶格尔 , 埃里克·汉森 , 太绅·耶格尔 , 凯文·马格利 , 摩根·昆利 , 康纳·利斯顿
IPC: H05H1/24 , H01J37/32 , C01B13/11 , C01B13/10 , H03K5/13 , H03K3/02 , H03K7/04 , H03K7/06 , H03K7/08 , H03K7/10
Abstract: 一些实施例包括一种高电压脉冲发生电源。所述高电压脉冲发生电源可以包括:高电压脉冲发生器,其具有提供具有大于大约1kV的幅度、小于大约1μs的脉冲宽度和大于大约20kHz的脉冲重复频率的脉冲的输出;等离子体腔室;和电极,其被部署在所述等离子体腔室内,所述电极与所述高电压脉冲发生器的所述输出电耦合,以在所述等离子体腔室内产生电场。
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