利用导电材料沉积在半导体上以产生相变和欧姆接触所形成的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN119403195A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202410999773.9

    申请日:2024-07-24

    Abstract: 本发明提供了一种在衬底上沉积光子诱导导电材料的方法,包括以下步骤:制备第一溶液,其包含金属盐、金属离子或其组合;制备第一悬浮液,其包含纳米颗粒、光敏还原剂、电子供体溶剂或其组合;混合第一溶液和第一悬浮液,以在第一衬底上形成第一试剂;发射由光源提供的光束,并将其聚焦到保持在第一衬底的第一区域上的第一试剂上,从而在光源的焦点处形成与第一衬底接触的机械刚性导电沉积物,其中,第一衬底具有暴露于周围气体或空气环境的第二区域。

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