公开(公告)号：CN100424711C

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN03808175.X

申请日：2003-02-10

申请人： 音质技术公司

发明人： 鲍君威 ,  斯瑞尼瓦斯·多迪 ,  尼契尔·扎卡特达 ,  旺韦

IPC分类号： G06F19/00 ,  G01B11/08

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01N21/4788 ,  G03F7/70625

摘要： 本发明包括从一个测得信号来确定在集成电路内一个结构的形态的方法和系统，用一个量度装置测量来自该结构的信号，在一个形态数据空间中选择测量信号的最佳符合，该数据空间有具有指定非线性程度的数据点，并执行一个精确化程序以确定精确化形态参数，一个实施方案包括一个精确化程序，该程序包括在形态库信号和形态参数的代价函数的一个功能区中寻找一个多面体，并用权重平均方法来把总代价函数最小化。其他实施方案包括用灵敏度分原，分簇方法，基于回归的方法，局域化精细分辨率方法，叠代率精确化方法，以及其他代价优化或精确化方法程序和方法的形态参数精确化程序。形态参数的精确化可以自动地启动或基于事先确定的标准，如象在测得信号和最佳符合形态库之间超过某一误差量度来启动。

公开(公告)号：CN1646661A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN03808175.X

申请日：2003-02-10

申请人： 音质技术公司

发明人： 鲍君威 ,  斯瑞尼瓦斯·多迪 ,  尼契尔·扎卡特达 ,  旺韦

IPC分类号： C09K15/04 ,  C09K15/06 ,  C08G63/02 ,  B65D81/26

CPC分类号： G01B11/24 ,  G01N21/4788 ,  G03F7/70625

摘要： 本发明包括从一个测得信号来确定在集成电路内一个结构的形态的方法和系统，用一个量度装置测量来自该结构的信号，在一个形态数据空间中选择测量信号的最佳符合，该数据空间有具有指定非线性程度的数据点，并执行一个精确化程序以确定精确化形态参数，一个实施方案包括一个精确化程序，该程序包括在形态库信号和形态参数的代价函数的一个功能区中寻找一个多面体，并用权重平均方法来把总代价函数最小化。其他实施方案包括用灵敏度分原，分簇方法，基于回归的方法，局域化精细分辨率方法，叠代率精确化方法，以及其他代价优化或精确化方法程序和方法的形态参数精确化程序。形态参数的精确化可以自动地启动或基于事先确定的标准，如象在测得信号和最佳符合形态库之间超过某一误差量度来启动。