公开(公告)号：CN104695026A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201510123102.7

申请日：2015-03-20

Applicant: 青海大学

Inventor： 铁生年 ,  高梦宇 ,  王军 ,  侯思懿 ,  周莲 ,  房玉双

IPC: C30B33/10

Abstract: 本发明公开了一种多晶硅片的制绒方法，包括步骤：配制硝酸和氢氟酸的混合溶液作为腐蚀液对多晶硅片进行制绒；在制绒的过程中，使用表面具有微结构的滚轴压印于所述多晶硅片的制绒面上。该制绒方法中，在制绒的过程中通过使用表面具有微结构的滚轴压印于多晶硅片的制绒面上，可以使多晶硅片表面形成具有与微结构相反向的压印图形，同时可以使反应液流动以及反应过程中生成的气体及时排出，进而获得更为均匀的绒面效果。

公开(公告)号：CN204441311U

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201520158911.7

申请日：2015-03-20

Applicant: 青海大学

Inventor： 铁生年 ,  高梦宇 ,  王军 ,  侯思懿 ,  周莲 ,  房玉双

IPC: H01L31/18 ,  C30B33/10

Abstract: 本实用新型公开了一种多晶硅片的链式制绒设备，包括刻蚀槽体，其中，所述刻蚀槽体中连接有至少一个第一滚轴和多个第二滚轴，位于多晶硅片下方的多个第二滚轴用于传送所述多晶硅片，所述第一滚轴位于所述多晶硅片的制绒面上，所述第一滚轴包括滚轴主体以及凸起地均匀分布于所述滚轴主体外周的微结构，当所述多晶硅片在所述刻蚀槽体中传送时，所述微结构压印于所述多晶硅片的制绒面上。该制绒设备中，通过对滚轴的改进，不仅可以使多晶硅片表面的反应液流动以及反应过程中生成的气体及时排出，而且第一滚轴上的微结构在制绒过程中可以反向的转移到多晶硅片表面，从而获得更为均匀的绒面效果。