公开(公告)号：CN108028173A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680055118.1

申请日：2016-07-18

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： J.A.邓洛普 ,  K.T.休伯特 ,  J.C.鲁兹卡 ,  A.N.A.雷格 ,  M.D.布隆德尔 ,  W.P.贾迪 ,  P.F.约翰 ,  E.P.拉拉 ,  W.D.迈尔 ,  A.P.道布 ,  S.A.巴克哈特 ,  T.C.琼蒂拉

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/203

CPC classification number: H01J37/3458 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  H01F7/06 ,  H01F27/28 ,  H01J37/00

Abstract: 用于供物理气相沉积装置使用的高表面积线圈包括第一表面。第一表面的至少部分具有表面粗糙度在大约15μm和大约150μm之间的宏观织构。第一表面的至少部分具有表面粗糙度在大约2μm和15μm之间的微观织构。