单晶炉除尘装置和系统

    公开(公告)号:CN213624466U

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN202021986652.4

    申请日:2020-09-11

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本实用新型提供了一种单晶炉除尘装置和系统,装置包括过滤罐和第一灰尘缓存结构,其中,所述过滤罐包括第一排污口;所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接,所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接,所述第一灰尘缓存结构包括内腔,在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下,所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。本实用新型可以实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘,延长了抽真空设备的工作时间,降低清理抽真空设备的频率,清理工作量有效减小,单晶炉的生产效率获得极大提高。