入口阀和具有这种入口阀的真空泵

    公开(公告)号:CN107208642B

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201680005882.8

    申请日:2016-01-07

    Abstract: 本发明涉及一种用于调节真空泵(11)的入口通道处的压力的入口阀,包括:‑第一腔室(1),其由壳体(3)限定,壳体具有连接到流体的第一供应源的至少一个入口通道(4),第一腔室(1)包括限定两个彼此流体密封的腔体(1a和1b)的可移动元件(5)和用于在可移动元件(5)上施加力的装置;‑第二腔室(2),其通过壁(7)与第一腔室(1)分离并由壳体(3)限定,第二腔室(2)与流体的第二供应源的工艺通道(8)直接连通;阀体(9),其以防止第二腔室(2)和第一腔室的第二腔体(1b)之间的流体流动的方式可滑动地安装在壁(7)中,阀体(9)具有远端(9a)和近端(9b),远端延伸到第一腔室(1)的第一腔体(1a)中,阀体可在近端(9b)被推靠在密封凸缘(10)上的初始关闭状态和流体从工艺通道流到真空泵的入口通道(11)的第二打开状态之间移动,其特征在于‑阀体(12)包括延伸穿过该阀体(12)的流体通道(18),以允许第一腔体(6a)和真空元件(1)的入口通道(14)之间的流体流动。

    控制器及其用途、具有该控制器的真空泵及温度调节方法

    公开(公告)号:CN107208639B

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201680005785.9

    申请日:2016-01-07

    Abstract: 本发明涉及一种用于调节在压缩机或真空元件(1)的出口通道(3)处的温度的方法,该方法包括在入口通道(9)上设置调压阀(4)的步骤,该入口通道(9)与压缩机或真空元件(1)直接流体连通,该阀(4)通过相对于该压缩机或真空元件(1)内的压力值与设定压力值之间的差调整在工艺通道(8)与压缩机或真空元件(1)之间流动的流体的体积来调节压缩机或真空元件(1)内的压力,其中该方法还包括以下步骤:‑启动压缩机或真空元件(1)和通过将压缩机或真空元件(1)的入口通道(2)连接至吹扫气体源一段预选定时间间隔来启动预吹扫循环;‑随后将入口通道(9)连接至工艺通道(8);以及‑将入口通道(2)与工艺通道(8)断开连接和启动在入口通道(2)处调节气体流的后吹扫循环以维持真空元件(1)内的设定温度一段选定时间间隔。

    入口阀和具有这种入口阀的真空泵

    公开(公告)号:CN107208642A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680005882.8

    申请日:2016-01-07

    Abstract: 本发明涉及一种用于调节真空泵(11)的入口通道处的压力的入口阀,包括:第一腔室(1),其由壳体(3)限定,壳体具有连接到流体的第一供应源的至少一个入口通道(4),第一腔室(1)包括限定两个彼此流体密封的腔体(1a和1b)的可移动元件(5)和用于在可移动元件(5)上施加力的装置;第二腔室(2),其通过壁(7)与第一腔室(1)分离并由壳体(3)限定,第二腔室(2)与流体的第二供应源的工艺通道(8)直接连通;阀体(9),其以防止第二腔室(2)和第一腔室的第二腔体(1b)之间的流体流动的方式可滑动地安装在壁(7)中,阀体(9)具有远端(9a)和近端(9b),远端延伸到第一腔室(1)的第一腔体(1a)中,阀体可在近端(9b)被推靠在密封凸缘(10)上的初始关闭状态和流体从工艺通道流到真空泵的入口通道(11)的第二打开状态之间移动,其特征在于‑阀体(12)包括延伸穿过该阀体(12)的流体通道(18),以允许第一腔体(6a)和真空元件(1)的入口通道(14)之间的流体流动。

    一种用于控制供应给真空泵的气体源的方法

    公开(公告)号:CN107208639A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680005785.9

    申请日:2016-01-07

    Abstract: 本发明涉及一种用于调节在压缩机或真空元件(1)的出口通道(3)处的温度的方法,该方法包括在入口通道(9)上设置调压阀(4)的步骤,该入口通道(9)与压缩机或真空元件(1)直接流体连通,该阀(4)通过相对于该压缩机或真空元件(1)内的压力值与设定压力值之间的差调整在工艺通道(8)与压缩机或真空元件(1)之间流动的流体的体积来调节压缩机或真空元件(1)内的压力,其中该方法还包括以下步骤:‑启动压缩机或真空元件(1)和通过将压缩机或真空元件(1)的入口通道(2)连接至吹扫气体源一段预选定时间间隔来启动预吹扫循环;‑随后将入口通道(9)连接至工艺通道(8);以及‑将入口通道(2)与工艺通道(8)断开连接和启动在入口通道(2)处调节气体流的后吹扫循环以维持真空元件(1)内的设定温度一段选定时间间隔。

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