超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴

    公开(公告)号:CN1235686C

    公开(公告)日:2006-01-11

    申请号:CN03134945.5

    申请日:2000-03-10

    CPC classification number: H01L21/67057 B08B3/12 H01L21/67051

    Abstract: 本发明涉及一种超声波洗涤机,具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体,在该筐体的内底面设置有超声波振动器,在上述夹层空腔部中装有空烧防止液,在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁,上述筐体具有U字形的第一、第二筐体,所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状;在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部,上述第一、第二筐体的端部相对配置;上述端部之间夹持着密封垫,在该第一、第二筐体间形成上述夹层空腔部;上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成,上述第一、第二筐体由板状部件构成,第一、第二筐体的上述遮檐状端部通过夹持弹性部件及贯穿这些端部的螺栓来连接,通过对螺栓紧固程度的调节改变密封垫的厚度。

    超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴

    公开(公告)号:CN1522801A

    公开(公告)日:2004-08-25

    申请号:CN03134945.5

    申请日:2000-03-10

    CPC classification number: H01L21/67057 B08B3/12 H01L21/67051

    Abstract: 本发明涉及一种超声波洗涤机,具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体,在该筐体的内底面设置有超声波振动器,在上述夹层空腔部中装有空烧防止液,在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁,上述筐体具有U字形的第一、第二筐体,所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状;在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部,上述第一、第二筐体的端部相对配置;上述端部之间夹持着密封垫,在该第一、第二筐体间形成上述夹层空腔部;上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成,上述第一、第二筐体由板状部件构成,第一、第二筐体的上述遮檐状端部通过夹持弹性部件及贯穿这些端部的螺栓来连接,通过对螺栓紧固程度的调节改变密封垫的厚度。

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