公开(公告)号：CN100510667C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200510081076.2

申请日：2005-06-29

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 田村学 ,  畑内隆史 ,  副岛和博 ,  高桥幸一 ,  阿部宗光 ,  村田真司

IPC: G01L1/14 ,  G01L19/00

Abstract: 本发明提供一种能够正确检测压力变化的静电电容式压力传感器用的玻璃衬底。玻璃衬底(11)具有相互对置的一对主面(11a、11b)。在玻璃衬底(11)中埋设由硅构成的岛状体(12a、12b)。岛状体(12a、12b)分别在玻璃衬底(11)的两个主面上露出。在玻璃衬底(11)的主面(11a)上，与岛状体(12a)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13a)，与岛状体(12b)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13b)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上，与岛状体(12a)的另一方的露出部分电连接地形成着电极(14)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上接合具有压敏膜片(15a)的硅衬底(15)。

公开(公告)号：CN1715850A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510081076.2

申请日：2005-06-29

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 田村学 ,  畑内隆史 ,  副岛和博 ,  高桥幸一 ,  阿部宗光 ,  村田真司

IPC: G01L1/14 ,  G01L19/00

Abstract: 本发明提供一种能够正确检测压力变化的静电电容式压力传感器用的玻璃衬底。玻璃衬底(11)具有相互对置的一对主面(11a、11b)。在玻璃衬底(11)中埋设由硅构成的岛状体(12a、12b)。岛状体(12a、12b)分别在玻璃衬底(11)的两个主面上露出。在玻璃衬底(11)的主面(11a)上，与岛状体(12a)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13a)，与岛状体(12b)的一方的露出部分电连接地形成了电极(13b)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上，与岛状体(12a)的另一方的露出部分电连接地形成着电极(14)。在玻璃衬底(11)的主面(11b)上接合具有压敏膜片(15a)的硅衬底(15)。

公开(公告)号：CN109416377A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201780042681.X

申请日：2017-03-13

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 田村学 ,  末永健 ,  蛇口广行

IPC: G01R15/20

Abstract: 电流传感器100具有：电线110，在x方向上的厚度小于在z方向上的宽度；磁传感器130；磁场形成构件140，包括软质磁性体；固定构件120。磁场形成构件140是以大致平行于与z方向正交的平面的方式扩展的板状构件，磁场形成构件140包括与磁传感器130相对的第一外表面141，第一外表面141和磁传感器130的灵敏度轴的朝向与x方向大致平行，固定构件120使磁传感器130和磁场形成构件140在电线110的z方向上的相同一侧接近并固定，固定构件120使电线110、磁传感器130和磁场形成构件140分离并固定于在z方向上重叠的位置。