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公开(公告)号:CN109456076A
公开(公告)日:2019-03-12
申请号:CN201811037866.4
申请日:2018-09-06
申请人: 阔斯泰公司
摘要: 本发明涉及硅玻璃部件、硅玻璃部件的制造方法及陶瓷与硅玻璃的接合方法,硅玻璃部件包括:主体部,其由硅玻璃构成,具有对于其它部件的接合部;以及接合膜,其被设置于上述接合部,含有Au和玻璃料熔融而形成的玻璃,厚度为0.2μm以上10μm以下,其中,所述接合膜由平均粒径3μm以下的Au粉末和软化点850℃以下的玻璃料来制作。
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公开(公告)号:CN115702504A
公开(公告)日:2023-02-14
申请号:CN202180044067.3
申请日:2021-12-23
申请人: 阔斯泰公司
摘要: 本发明具备包含二氧化硅玻璃的主体部,所述主体部具有与其他部件接合的其他部件接合部,在所述其他部件接合部,从所述主体部侧依次设置有基底层、中间层及包含Au的表面层,所述基底层的空隙率在5%以上且10%以下的范围内,所述中间层的空隙率在4%以上且5%以下的范围内,且所述基底层的厚度在20nm以上且100nm以下的范围内,所述中间层的厚度在100nm以上且200nm以下的范围内。
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