芯片结构及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118398564A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410462795.1

    申请日:2024-04-17

    IPC分类号: H01L23/31 H01L21/50 H01L21/56

    摘要: 本公开涉及一种芯片结构及其制备方法,芯片结构包括:芯片本体,包括第一面以及与第一面连接的外周表面;预封装层,至少包围芯片本体的外周表面;塑封层,覆盖第一面以及预封装层。通过先设置预封装层包围芯片结构,再后续制备塑封层时,预封装层减少了塑封层与芯片结构的接触面积,这减小了塑封层与芯片结构之间的应力。而且,在此过程中,预封装层几乎不会发生形变,这进一步消除了塑封层与芯片结构之间膨胀形变因素,降低了塑封层的翘曲角度。同时,加热时预封装层和塑封层的材料相近使得二者可以融合,进一步消除了芯片本体与塑封层之间产生的应力,最终使得芯片结构具有平坦的表面。此后,可以在平坦的表面上形成其他稳定的结构。