公开(公告)号：CN114899264B

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202210404467.7

申请日：2022-04-18

Applicant: 长江大学

Inventor： 余翔翔 ,  张恒 ,  朱德生 ,  张华峰 ,  龚小龙 ,  杨文星

IPC: H01L31/101 ,  C23C14/06 ,  C23C26/00 ,  C23C28/00 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种硒自支撑薄膜光电探测器及其制备方法，该硒自支撑薄膜光电探测器包括衬底、硒自支撑薄膜以及导电金属电极，硒自支撑薄膜为采用硒粉经物理气相沉积法制备的六方晶系结构薄膜并置于衬底上；导电金属电极设于述衬底上并覆盖硒自支撑薄膜的两端。本发明硒自支撑薄膜光电探测器制备工艺简单、成本低廉，硒自支撑薄膜光电探测器的光响应度高，响应速度快，性能稳定。

公开(公告)号：CN114899264A

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202210404467.7

申请日：2022-04-18

Applicant: 长江大学

Inventor： 余翔翔 ,  张恒 ,  朱德生 ,  张华峰 ,  龚小龙 ,  杨文星

IPC: H01L31/101 ,  C23C14/06 ,  C23C26/00 ,  C23C28/00 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种硒自支撑薄膜光电探测器及其制备方法，该硒自支撑薄膜光电探测器包括衬底、硒自支撑薄膜以及导电金属电极，硒自支撑薄膜为采用硒粉经物理气相沉积法制备的六方晶系结构薄膜并置于衬底上；导电金属电极设于述衬底上并覆盖硒自支撑薄膜的两端。本发明硒自支撑薄膜光电探测器制备工艺简单、成本低廉，硒自支撑薄膜光电探测器的光响应度高，响应速度快，性能稳定。