公开(公告)号：CN110172668A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201910433388.7

申请日：2019-05-23

Applicant: 钢铁研究总院

Inventor： 何峻 ,  宋林轩 ,  郝嘉政 ,  夏振军 ,  欧修龙 ,  赵栋梁

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/14 ,  C23C14/35 ,  B22F1/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明属于纳米材料制备领域，尤其涉及一种金属/氧化物核壳结构纳米颗粒制备的方法及其纳米颗粒。本发明对需要的靶材进行如下溅射：在溅射室内使得靶材形成金属或合金内核的等离子纳米束流；然后进入过渡室，在过渡室通入流量可调的氧气使等离子纳米束流的颗粒表层氧化形成氧化物壳层，得到尺寸均一的核壳结构纳米颗粒。本发明适用于多种可溅射的易氧化金属或合金的氧化物包覆的核壳结构纳米颗粒的制备；通过控制氧气流量可对包覆的氧化层厚度进行控制；溅射环境冷却系统保证所制备纳米颗粒的尺寸均一。

公开(公告)号：CN110172668B

公开(公告)日：2020-07-24

申请号：CN201910433388.7

申请日：2019-05-23

Applicant: 钢铁研究总院

Inventor： 何峻 ,  宋林轩 ,  郝嘉政 ,  夏振军 ,  欧修龙 ,  赵栋梁

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/14 ,  C23C14/35 ,  B22F1/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明属于纳米材料制备领域，尤其涉及一种金属/氧化物核壳结构纳米颗粒制备的方法及其纳米颗粒。本发明对需要的靶材进行如下溅射：在溅射室内使得靶材形成金属或合金内核的等离子纳米束流；然后进入过渡室，在过渡室通入流量可调的氧气使等离子纳米束流的颗粒表层氧化形成氧化物壳层，得到尺寸均一的核壳结构纳米颗粒。本发明适用于多种可溅射的易氧化金属或合金的氧化物包覆的核壳结构纳米颗粒的制备；通过控制氧气流量可对包覆的氧化层厚度进行控制；溅射环境冷却系统保证所制备纳米颗粒的尺寸均一。