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公开(公告)号：CN117213570A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311189019.0
申请日：2023-09-15
Applicant: 重庆科技学院
Abstract: 本发明公开了一种基于CMUT器件的流量测量设备及方法，涉及流量测量技术领域，其结构包括沿第一方向输送介质的流体传导部件，所述流体传导部件包括至少二处流量测量点，不同所述流量测量点位于第一方向的不同位置，所述流量测量点位置处布置有传感器系统，所述传感器系统包括超声波探头模块，超声波探头模块由上电极﹑振动薄膜﹑绝缘层、硅衬底和下电极依次层叠组成，所述绝缘层靠近所述上电极一侧开设有第一腔体，相比于现有技术，本发明中的流量检测设备结构相对简单，且所使用的方法灵敏度更高。
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