一种拼接式绝对直线位移传感器

    公开(公告)号:CN114087969B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202111370465.2

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种拼接式绝对直线位移传感器,其单个定尺采用模块化结构设计,N个定尺通过首尾拼接的方式扩展量程,接收电极Ⅰ、接收电极Ⅱ通过电信号进行编码,当多个定尺进行拼接时,可识别出动尺处在哪一个定尺之上;分段定尺识别加上定尺内绝对定位,即可实现拼接后整个量程内的绝对直线位移测量。本发明用简单的原理实现了超大量程的绝对直线位移测量,打破了传统的栅尺制造工艺对提升量程的限制。

    一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211092B

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201711351544.2

    申请日:2017-12-15

    CPC classification number: G01B7/30

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有反射电极Ⅰ、感应电极、反射电极Ⅱ,反射电极Ⅰ、Ⅱ分别与感应电极相连;定子基体上表面设有接收电极Ⅰ、激励电极和接收电极Ⅱ,激励电极的四个激励相分别连接四路激励信号,接收电极Ⅰ输出第一路精测正弦行波信号,接收电极Ⅱ输出第二路精测正弦行波信号,利用第一路与第二路精测正弦行波信号的相位差计算粗测对极定位值,利用第一路或者第二路精测正弦行波信号计算精测角位移值,将精测角位移值与粗测对极定位值相结合得到绝对角位移值。该传感器能实现绝对角位移测量,同时扩大应用范围,增强工业适应性。

    一种基于交变电场的差极反射型绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211097B

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201810730075.3

    申请日:2018-07-05

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的差极反射型绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有感应电极Ⅰ、反射电极Ⅰ、反射电极Ⅱ和感应电极Ⅱ,感应电极Ⅰ、Ⅱ分别与反射电极Ⅰ、Ⅱ相连;定子基体上表面设有激励电极Ⅰ、接收电极Ⅰ、接收电极Ⅱ和激励电极Ⅱ,先对激励电极Ⅱ的四个激励相分别施加四路激励信号,此时激励电极Ⅰ不工作,在接收电极Ⅱ上输出第一路差动正弦行波信号,然后将四路激励信号切换到激励电极Ⅰ的四个激励相,此时激励电极Ⅱ不工作,在接收电极Ⅰ上输出第二路差动正弦行波信号。该传感器以相对简单的分时处理方式便能实现高精度绝对角位移测量,转子无需引线,工业适应性更强。

    一种基于交变电场的差极反射型绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211097A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201810730075.3

    申请日:2018-07-05

    CPC classification number: G01B7/30

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的差极反射型绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有感应电极Ⅰ、反射电极Ⅰ、反射电极Ⅱ和感应电极Ⅱ,感应电极Ⅰ、Ⅱ分别与反射电极Ⅰ、Ⅱ相连;定子基体上表面设有激励电极Ⅰ、接收电极Ⅰ、接收电极Ⅱ和激励电极Ⅱ,先对激励电极Ⅱ的四个激励相分别施加四路激励信号,此时激励电极Ⅰ不工作,在接收电极Ⅱ上输出第一路差动正弦行波信号,然后将四路激励信号切换到激励电极Ⅰ的四个激励相,此时激励电极Ⅱ不工作,在接收电极Ⅰ上输出第二路差动正弦行波信号。该传感器以相对简单的分时处理方式便能实现高精度绝对角位移测量,转子无需引线,工业适应性更强。

    一种拼接式绝对直线位移传感器

    公开(公告)号:CN114087969A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202111370465.2

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种拼接式绝对直线位移传感器,其单个定尺采用模块化结构设计,N个定尺通过首尾拼接的方式扩展量程,接收电极Ⅰ、接收电极Ⅱ通过电信号进行编码,当多个定尺进行拼接时,可识别出动尺处在哪一个定尺之上;分段定尺识别加上定尺内绝对定位,即可实现拼接后整个量程内的绝对直线位移测量。本发明用简单的原理实现了超大量程的绝对直线位移测量,打破了传统的栅尺制造工艺对提升量程的限制。

    基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211093B

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201810484166.3

    申请日:2018-05-19

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有反射电极Ⅰ、感应电极、反射电极Ⅱ,反射电极Ⅰ、Ⅱ分别与感应电极相连;定子基体上表面设有接收电极Ⅰ、激励电极和接收电极Ⅱ,激励电极的四个激励相分别连接四路激励信号,接收电极Ⅰ输出第一路差动正弦行波信号,接收电极Ⅱ输出第二路差动正弦行波信号,利用第一路与第二路差动正弦行波信号的相位差计算粗测对极定位值,利用第一路或者第二路差动正弦行波信号计算精测角位移值,将精测角位移值与粗测对极定位值相结合得到绝对角位移值。该传感器能实现绝对角位移测量,同时扩大应用范围,增强工业适应性。

    基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211093A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201810484166.3

    申请日:2018-05-19

    CPC classification number: G01B7/30

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有反射电极Ⅰ、感应电极、反射电极Ⅱ,反射电极Ⅰ、Ⅱ分别与感应电极相连;定子基体上表面设有接收电极Ⅰ、激励电极和接收电极Ⅱ,激励电极的四个激励相分别连接四路激励信号,接收电极Ⅰ输出第一路差动正弦行波信号,接收电极Ⅱ输出第二路差动正弦行波信号,利用第一路与第二路差动正弦行波信号的相位差计算粗测对极定位值,利用第一路或者第二路差动正弦行波信号计算精测角位移值,将精测角位移值与粗测对极定位值相结合得到绝对角位移值。该传感器能实现绝对角位移测量,同时扩大应用范围,增强工业适应性。

    一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211092A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201711351544.2

    申请日:2017-12-15

    CPC classification number: G01B7/30

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有反射电极Ⅰ、感应电极、反射电极Ⅱ,反射电极Ⅰ、Ⅱ分别与感应电极相连;定子基体上表面设有接收电极Ⅰ、激励电极和接收电极Ⅱ,激励电极的四个激励相分别连接四路激励信号,接收电极Ⅰ输出第一路精测正弦行波信号,接收电极Ⅱ输出第二路精测正弦行波信号,利用第一路与第二路精测正弦行波信号的相位差计算粗测对极定位值,利用第一路或者第二路精测正弦行波信号计算精测角位移值,将精测角位移值与粗测对极定位值相结合得到绝对角位移值。该传感器能实现绝对角位移测量,同时扩大应用范围,增强工业适应性。

    一种基于交变电场的平面二维时栅位移传感器

    公开(公告)号:CN109631735B

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN201910008990.6

    申请日:2019-01-04

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的平面二维时栅位移传感器,包括定尺基体和动尺基体两部分,两者正对平行安装,并留有一定间隙。定尺基体上布置有分别沿X轴和Y轴进行错位编码的正方形激励极片,动尺基体上布置有沿X轴和Y轴相邻排布的感应极片,四个激励相分别施加相位相差90°的同频等幅正弦激励信号,四个感应组通过电场耦合分别输出四路行波信号,采用加法器对相邻输出信号进行求和可同时解耦出两路相位相反、只包含X轴位移量的行波信号和两路相位相反、只包含Y轴位移量的行波信号;对任一方向上两路行波信号通过减法器进行作差可消除共模干扰。本发明结构简单,解耦彻底,可实现大量程高精度的平面二维位移测量。

    一种基于交变电场的平面二维时栅位移传感器

    公开(公告)号:CN109631735A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201910008990.6

    申请日:2019-01-04

    CPC classification number: G01B7/02

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的平面二维时栅位移传感器,包括定尺基体和动尺基体两部分,两者正对平行安装,并留有一定间隙。定尺基体上布置有分别沿X轴和Y轴进行错位编码的正方形激励极片,动尺基体上布置有沿X轴和Y轴相邻排布的感应极片,四个激励相分别施加相位相差90°的同频等幅正弦激励信号,四个感应组通过电场耦合分别输出四路行波信号,采用加法器对相邻输出信号进行求和可同时解耦出两路相位相反、只包含X轴位移量的行波信号和两路相位相反、只包含Y轴位移量的行波信号;对任一方向上两路行波信号通过减法器进行作差可消除共模干扰。本发明结构简单,解耦彻底,可实现大量程高精度的平面二维位移测量。

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