一种电场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器

    公开(公告)号:CN117404998B

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202311334540.9

    申请日:2023-10-16

    Abstract: 本发明涉及一种电场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器,所述传感器包括定子和动子,所述定子套在所述动子内,所述定子包括定子基体和激励电极阵列,所述动子包括动子基体和感应电极阵列,当动子相对定子移动,角位移与直线位移感应信号拾取阵列经逻辑电路输出信号UX和UY,由FX、FY感应组的输出信号φX和φY的差异来判断维度运动方向,由ZX、ZY感应组的输出信号UF1、UF2、UF3、UF4来判断单维度方向的正负,由将UX、UY行波信号分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到动子相对定子在圆周方向的角位移或轴向的直线位移。结构简单,测量分辨率高,易批量制造,成本低等优势。

    基于级联结构的绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN114279315A

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202111528426.0

    申请日:2021-12-14

    Abstract: 本发明公开了一种基于级联结构的绝对式时栅角位移传感器,包括定子Ⅰ、定子Ⅱ和转子,定子Ⅰ位于转子上方,定子Ⅱ位于转子下方,定子Ⅰ的基体下表面间隔设有激励电极Ⅰ、Ⅱ,转子的基体上表面间隔设有感应电极Ⅰ、Ⅱ,感应电极Ⅰ与激励电极Ⅰ正对,感应电极Ⅱ与激励电极Ⅱ正对,定子Ⅱ的基体上表面间隔设有接收电极Ⅰ、Ⅱ,转子的基体下表面间隔设有反射电极Ⅰ、Ⅱ,反射电极Ⅰ与接收电极Ⅰ正对,且与感应电极Ⅰ相连,反射电极Ⅱ与接收电极Ⅱ正对,且与感应电极Ⅱ相连。其能减小激励信号对输出位移信号的干扰,提高信号质量和可靠性,提高信噪比,从而进一步提高传感器的测量精度。

    基于电场调制的角位移传感器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118857087A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411085295.7

    申请日:2024-08-08

    Abstract: 本发明公开了一种基于电场调制的角位移传感器,包括上下设置的定子基体和转子基体,定子基体上且朝向转子基体所在方向的一侧侧面上设置有一个或多个对极单元,对极单元包括至少三组绕定子基体圆心方向间隔排列的传感电极组,每组传感电极组包括绕定子基体圆心方向间隔设置的一个激励电极和一个感应电极;转子基体上且朝向定子基体所在方向的一侧侧面上设置有与对极单元数量一致且能够绕转子基体圆心方向分别与各对极单元相对应的调制单元组,每个调制单元组包括绕转子基体圆心方向排布的一个调制单元F和一个调制单元G,调制单元F能够绕转子基体圆心方向与对极单元中至少一组传感电极组相对应。

    一种磁场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器

    公开(公告)号:CN117367258B

    公开(公告)日:2024-07-16

    申请号:CN202311112689.2

    申请日:2023-08-31

    Abstract: 本发明涉及一种磁场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器,属于精密测量传感器技术领域。所述传感器包括定子和动子,所述定子套在所述动子内,所述定子包括定子基体和激励绕组,所述动子包括动子基体和感应绕组,当动子相对定子移动,角位移与直线位移感应信号拾取阵列经逻辑电路输出信号UX和UY,由FX、FY感应绕组的输出信号φX和φY的差异来判断维度运动方向,由ZX、ZY感应绕组的输出信号UF1、UF2、UF3、UF4来判断单维度方向的正负,由将UX、UY行波信号分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到动子相对定子在圆周方向的角位移或轴向的直线位移。结构简单,测量分辨率高,易批量制造,成本低等优势。

    一种磁场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器

    公开(公告)号:CN117367258A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311112689.2

    申请日:2023-08-31

    Abstract: 本发明涉及一种磁场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器,属于精密测量传感器技术领域。所述传感器包括定子和动子,所述定子套在所述动子内,所述定子包括定子基体和激励绕组,所述动子包括动子基体和感应绕组,当动子相对定子移动,角位移与直线位移感应信号拾取阵列经逻辑电路输出信号UX和UY,由FX、FY感应绕组的输出信号φX和φY的差异来判断维度运动方向,由ZX、ZY感应绕组的输出信号UF1、UF2、UF3、UF4来判断单维度方向的正负,由将UX、UY行波信号分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到动子相对定子在圆周方向的角位移或轴向的直线位移。结构简单,测量分辨率高,易批量制造,成本低等优势。

    一种基于组合调制原理的拼接式绝对直线位移传感器

    公开(公告)号:CN114087968B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202111370430.9

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于组合调制原理的拼接式绝对直线位移传器,其单个定尺采用模块化结构设计,将N个定尺拼接成定尺组,在动尺的基体上设计两个独立且间隔Dos的传感单元Ⅰ和传感单元Ⅱ,并配合时栅信号处理电路,测量动尺相对定尺组的绝对直线位移值Spa,从而能实现测量范围达到几米甚至几十米的超大量程绝对直线位移测量,打破传统的栅尺制造工艺对提升量程的限制,并且应用场景灵活。

    一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211092B

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201711351544.2

    申请日:2017-12-15

    CPC classification number: G01B7/30

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有反射电极Ⅰ、感应电极、反射电极Ⅱ,反射电极Ⅰ、Ⅱ分别与感应电极相连;定子基体上表面设有接收电极Ⅰ、激励电极和接收电极Ⅱ,激励电极的四个激励相分别连接四路激励信号,接收电极Ⅰ输出第一路精测正弦行波信号,接收电极Ⅱ输出第二路精测正弦行波信号,利用第一路与第二路精测正弦行波信号的相位差计算粗测对极定位值,利用第一路或者第二路精测正弦行波信号计算精测角位移值,将精测角位移值与粗测对极定位值相结合得到绝对角位移值。该传感器能实现绝对角位移测量,同时扩大应用范围,增强工业适应性。

    一种基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器

    公开(公告)号:CN109211094B

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201810484167.8

    申请日:2018-05-19

    Abstract: 本发明公开了一种基于交变电场的反射型绝对式时栅角位移传感器,包括转子基体和定子基体,转子基体下表面设有反射电极Ⅰ、感应电极、反射电极Ⅱ,反射电极Ⅰ、Ⅱ分别与感应电极相连;定子基体上表面设有接收电极Ⅰ、激励电极和接收电极Ⅱ,激励电极的四个激励相分别连接四路激励信号,接收电极Ⅰ输出第一路差动正弦行波信号,接收电极Ⅱ输出第二路差动正弦行波信号,利用第一路差动正弦行波信号计算精测角位移值,利用第一路与第二路差动正弦行波信号的相位差计算粗测对极定位值,将精测角位移值与粗测对极定位值相结合得到绝对角位移值。该传感器能实现绝对角位移测量,同时扩大应用范围,增强工业适应性。

    一种电场和光场复合测量的绝对式位移传感器

    公开(公告)号:CN118999637A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202411101076.3

    申请日:2024-08-12

    Abstract: 本发明公开一种电场和光场复合测量的绝对式位移传感器,包括激励模块、传感器本体、信号处理电路和FPGA。激励模块,用于产生电压并输入到传感器本体;传感器本体,用于进行光场测量产生编码信号,以及进行电场测量产生位移信号;信号处理电路,用于对编码信号和位移信号进行放大和滤波处理;FPGA,用于根据处理后的编码信号和位移信号分别得到粗测位移值和精测位移值,再根据粗测位移值和精测位移值输出绝对位移值。本申请通过一种电场和光场复合测量的方式,实现栅式位移传感器的绝对式测量,且不需要采用双列式的结构即可实现绝对定位,通过CCD图像传感器采集编码图像后,通过编码识别、解码等操作后得到粗测值,并且编码解码简单;电场式栅式位移传感器的位移数据作为精测值,两者相结合即可实现时栅的绝对式测量。

    一种电场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器

    公开(公告)号:CN117404998A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202311334540.9

    申请日:2023-10-16

    Abstract: 本发明涉及一种电场式角位移与直线位移复合测量的位移传感器,所述传感器包括定子和动子,所述定子套在所述动子内,所述定子包括定子基体和激励电极阵列,所述动子包括动子基体和感应电极阵列,当动子相对定子移动,角位移与直线位移感应信号拾取阵列经逻辑电路输出信号UX和UY,由FX、FY感应组的输出信号φX和φY的差异来判断维度运动方向,由ZX、ZY感应组的输出信号UF1、UF2、UF3、UF4来判断单维度方向的正负,由将UX、UY行波信号分别与同频率参考信号进行比相,相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示,经换算后得到动子相对定子在圆周方向的角位移或轴向的直线位移。结构简单,测量分辨率高,易批量制造,成本低等优势。

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