公开(公告)号：CN103757613B

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201410034109.7

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  杨鑫 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，其特征在于：所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。工艺中衬底材料的选择范围大，所受限制小，若以柔性的有机薄膜为衬底，使用特殊的传送装置，可以实现卷对卷生产。

公开(公告)号：CN105506584B

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201510892469.5

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  杨鑫 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，其特征在于：所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。

公开(公告)号：CN105483656B

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201510892316.0

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  杨鑫 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明提供了一种TCO电子薄膜的制备方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。

公开(公告)号：CN105349970B

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：CN201510892350.8

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  杨鑫 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。

公开(公告)号：CN105483656A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201510892316.0

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  杨鑫 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

CPC classification number: C23C18/1258

Abstract: 本发明提供了一种TCO电子薄膜的制备方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。

公开(公告)号：CN105506584A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510892469.5

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  杨鑫 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

CPC classification number: C23C18/1216

Abstract: 本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，其特征在于：所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。

公开(公告)号：CN105349970A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201510892350.8

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  杨鑫 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

CPC classification number: C23C18/1216

Abstract: 本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。

公开(公告)号：CN103757613A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410034109.7

申请日：2014-01-24

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  杨鑫 ,  柳红东

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，其特征在于：所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。工艺中衬底材料的选择范围大，所受限制小，若以柔性的有机薄膜为衬底，使用特殊的传送装置，可以实现卷对卷生产。

公开(公告)号：CN203917065U

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201420325053.6

申请日：2014-06-18

Applicant: 重庆文理学院

Inventor： 程江 ,  张洪涛 ,  王祺 ,  杨鑫 ,  柳红东

IPC: B05C9/14 ,  B05C3/10

Abstract: 本实用新型公开了一种浸渍提拉镀膜设备，包括带有底座（1）的箱体（2），在底座（1）上设置有控制面板（3），在所述箱体（2）内设置有带轴承（4）的滚珠丝杠（5）、滑块（6）、液槽（7）和基片（8），所述滚珠丝杠（5）的一端与设置在箱体（2）顶部上的电机（9）连接，所述滑块（6）与轴承（4）连接，所述基片（8）与所述液槽（7）相对应，在所述箱体（2）内还设置有用于对基片（8）上的溶质进行蒸发和热处理的加热器。本实用新型采用它无需反复多次取下和装载基片，实现了全自动化操作，不仅能有效避免操作者差异造成的低重复性问题，能精确地控制薄膜厚度和微观外貌，还能有效避免产品的污染，提高了产品的质量。