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公开(公告)号:CN203033774U
公开(公告)日:2013-07-03
申请号:CN201220719615.6
申请日:2012-12-24
Applicant: 重庆大学
IPC: C01B33/107
Abstract: 本实用新型公开了一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置,包括:带有加热装置的四氯化硅储罐;氢气储罐;氩气储罐;具有保温功能的混合气体储罐,与四氯化硅储罐和氢气储罐相连;微波等离子体反应器,分别与混合气体储罐和氩气储罐相连;微波等离子发生器,通过微波匹配器与微波等离子体反应器的波导腔相连;除尘器,与微波等离子体反应器的反应腔相连;冷凝器,与除尘器相连;气液分离器,与冷凝器相连,冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离器;气体分离塔,与冷凝器相连,冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。本实用新型一次转化率高、能耗低、原料可重复利用、系统及设备结构简单。
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公开(公告)号:CN203173828U
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201220719570.2
申请日:2012-12-24
Applicant: 重庆大学
IPC: C01B33/107
Abstract: 本实用新型公开了一种由四氯化硅氢化生产三氯氢硅的装置,包括:带有加热装置的四氯化硅储罐;氢气储罐;氩气储罐;具有保温功能的混合气体储罐,分别连接四氯化硅储罐、氢气储罐和氩气储罐;氢化反应器,通过装有计量阀门的管道与混合气体储罐相连;射频发生器,射频发生器线圈缠绕在氢化反应器上;除尘器,与氢化反应器相连,氢化反应器中的气体通过压力差进入除尘器;冷凝器,与除尘器相连,除尘器过滤后气体靠压力差进入冷凝器;气液分离装置,与冷凝器相连,冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离装置;气体分离塔,与冷凝器相连,冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。本实用新型一次转化率高、能耗低、原料可重复利用、系统及设备结构简单。
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