公开(公告)号：CN115077392A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210673757.1

申请日：2022-06-14

Applicant: 郑州轻工业大学

Inventor： 翟玉生 ,  赵一恒 ,  蒋留杰 ,  张志峰 ,  耿利杰 ,  张瑞亮 ,  杨坤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明提出了一种光束光斑位移放大测量系统及测量方法，聚焦的待测光束被放置在聚焦焦点附近的光阑部分遮挡；被光阑部分遮挡的待测光束入射到位置敏感光电探测器的感光面上，形成缺损光斑；待测光束若发生空间位置变化导致光阑遮挡处的光束光斑产生与被遮挡方向平行的位移d，位置敏感光电探测器的感光面上将产生放大的光斑缺损变化量D=dL2/L1，输出的光斑位移放大L2/L1倍，L1为光阑与聚焦焦点在光线行进方向上的距离；L2为PSD与聚焦焦点在光线行进方向上的距离。本发明使位置敏感光电探测器上光斑能量重心位置变化获得与光斑尺寸变化相同倍数的放大，可大幅提高光束光斑位移测量灵敏度，结构简单灵活，便于不同应用集成整合，且成本低。

公开(公告)号：CN115077392B

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202210673757.1

申请日：2022-06-14

Applicant: 郑州轻工业大学

Inventor： 翟玉生 ,  赵一恒 ,  蒋留杰 ,  张志峰 ,  耿利杰 ,  张瑞亮 ,  杨坤

IPC: G01B11/02

Abstract: 本发明提出了一种光束光斑位移放大测量系统及测量方法，聚焦的待测光束被放置在聚焦焦点附近的光阑部分遮挡；被光阑部分遮挡的待测光束入射到位置敏感光电探测器的感光面上，形成缺损光斑；待测光束若发生空间位置变化导致光阑遮挡处的光束光斑产生与被遮挡方向平行的位移d，位置敏感光电探测器的感光面上将产生放大的光斑缺损变化量D=dL2/L1，输出的光斑位移放大L2/L1倍，L1为光阑与聚焦焦点在光线行进方向上的距离；L2为PSD与聚焦焦点在光线行进方向上的距离。本发明使位置敏感光电探测器上光斑能量重心位置变化获得与光斑尺寸变化相同倍数的放大，可大幅提高光束光斑位移测量灵敏度，结构简单灵活，便于不同应用集成整合，且成本低。

公开(公告)号：CN114383500A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202011152313.0

申请日：2020-10-20

Applicant: 郑州轻工业大学

Inventor： 翟玉生 ,  张瑞亮 ,  杨鹏 ,  赵一恒 ,  王乾森 ,  马景晨 ,  耿利杰 ,  张志峰 ,  杨坤 ,  王新杰

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/30 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种多参数检测方法与装置，属于光电检测技术领域。采用基于位置敏感光电探测器的高精度光电式边缘检测和精密电控位移台相结合的方法，可以实现镜面级表面物体的尺寸参数的非接触、高精度在线自动检测，设定参数下检测精度可达5微米；采用三角测距法实现镜面级表面物体的表面平面度的非接触、高精度在线自动检测，设定参数下检测精度可达1微米；在实现多参数同步检测的情况下，整个系统可以单个光源作为系统光源，探测单元高效复用，结构简单灵活。本发明所提方法可以解决目前已有检测方法分别存在的检测精度不高、可检测尺寸范围较小、材质受限、系统复杂等问题。

公开(公告)号：CN112325769A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN202011152314.5

申请日：2020-10-20

Applicant: 郑州轻工业大学

Inventor： 翟玉生 ,  杨鹏 ,  张腊梅 ,  赵一恒 ,  刘金刚 ,  王乾森 ,  马景晨 ,  张志峰 ,  杨坤 ,  王新杰

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种尺寸参数检测方法与装置，属于光电检测技术领域。采用基于位置敏感光电探测器的高精度寻边方法与步进电机驱动的精密电动位移台相结合，可以实现物体尺寸参数的非接触、高精度在线自动检测，设定参数下检测精度优于5微米。基于位置敏感光电探测器的边缘识别方法将边缘识别转化为线性输出可量化的光斑位置变化识别，抗干扰能力强，边缘识别阈值设置灵活；针对不同待测物体边缘特征，可通过光阑对测量用准直光束进行相应整形，进一步提高检测灵敏度和稳定性；光学结构简单灵活，可针对不同光学性质的材质进行调整。本发明所提方法可解决目前已有检测方法分别存在的检测精度不高、可检测尺寸范围较小、材质受限、系统复杂等问题。