公开(公告)号：CN118031851A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410209942.4

申请日：2024-02-26

Applicant: 郑州轻工业大学

Inventor： 王辉 ,  杨嘉旭 ,  叶国永 ,  刘红霞 ,  张亚琳 ,  王鹏鹏 ,  张海洋 ,  费致根 ,  吴深 ,  肖志玲

IPC: G01B11/26

Abstract: 圆光栅测角技术是超精密转台测量系统重要组成部分，为了提高超精密转台角度测量系统的精度，针对多读数头组合均布测量中存在特定误差幅值残留的问题，本发明提出一种基于圆光栅组合均布读数系统的多阶误差补偿方法。基于圆光栅测角原理，对圆光栅测量系统中的误差来源及其特性进行归纳分析，将误差按照频率关系进行划分并以此为根据搭建误差数学模型，通过数学推导和仿真计算指出多读数头均布组合实现多阶误差补偿的原理。结果表明，相比于传统的光栅读数头测量系统，其测量精度得到了提高，实现了高精度角度测量，证明了多阶误差补偿方法的有效性。