公开(公告)号：CN1955718B

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN200610163581.6

申请日：2006-10-24

Applicant: 通用电气公司

Inventor： K·G·哈丁 ,  X·钱 ,  R·S·德穆思

IPC: G01N21/00 ,  G01N21/95 ,  G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/24 ,  G01M15/02

CPC classification number: G01B11/2513

Abstract: 一种用于产生用在光测量系统(10)中的掩模(52)的方法(100)，该光测量系统包括用于把光投射到物体(12)表面上的光源(22)，和用于接收从该物体表面反射回来的光的成像系统。该方法包括确定(102)待检查物体的轮廓，和基于所确定轮廓产生(104)掩模，其中该掩模包括在其内部延伸的开口(172)，从光源处看来该开口的轮廓与物体的轮廓基本匹配。

公开(公告)号：CN1955718A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200610163581.6

申请日：2006-10-24

Applicant: 通用电气公司

Inventor： K·G·哈丁 ,  X·钱 ,  R·S·德穆思

IPC: G01N21/00 ,  G01N21/95 ,  G01N21/41 ,  G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/24 ,  G01M15/00 ,  G01M15/02

CPC classification number: G01B11/2513

Abstract: 一种用于产生用在光测量系统(10)中的掩模(52)的方法(100)，该光测量系统包括用于把光投射到物体(12)表面上的光源(22)，和用于接收从该物体表面反射回来的光的成像系统。该方法包括确定(102)待检查物体的轮廓，和基于所确定轮廓产生(104)掩模，其中该掩模包括在其内部延伸的开口(172)，从光源处看来该开口的轮廓与物体的轮廓基本匹配。