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公开(公告)号:CN102730620A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210107782.X
申请日:2012-04-05
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01R33/3657 , H01H1/0036 , H01H9/54
Abstract: 本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置,其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外,配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器,其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中,该MEMS装置包括一个或多个无源元件,其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。
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公开(公告)号:CN102730620B
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201210107782.X
申请日:2012-04-05
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01R33/3657 , H01H1/0036 , H01H9/54
Abstract: 本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置,其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外,配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器,其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中,该MEMS装置包括一个或多个无源元件,其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。
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公开(公告)号:CN103105121A
公开(公告)日:2013-05-15
申请号:CN201210445794.3
申请日:2012-11-09
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H03K17/945 , F01D11/06 , F01D17/20 , F02C9/00 , G08B13/2491
Abstract: 本发明涉及接近传感器组件和检查系统,公开了一种带有感测元件的接近传感器组件,其具有基件和置于该基件的一个或更多平坦表面上的天线图案。电缆基本平行于基件的平坦表面被供给且附连到基件的侧表面,使得电缆基本垂直于从感测元件发射的电磁场的方向而定向。
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