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公开(公告)号：CN112714883B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201880097485.7
申请日：2018-09-12
Applicant: 通快激光系统半导体制造有限公司
Inventor： O·埃里克松
Abstract: 本发明涉及一种尤其用于偏振激光射束(30)的光学组件(23)，其包括具有射束入射面(5a、6a、...)和射束出射面(5b、6b、...)的多个板状光学元件(5、6、...)和用于共同固定板状光学元件(5、6、...)的保持件(1)。在每两个相邻的板状光学元件(5、6、...)之间布置至少三个间距保持件(11a‑d)，所述间距保持件分别构造用于点状地贴靠在第一板状光学元件(5)的射束出射面(5a、6a、...)上以及点状地贴靠在相邻的第二板状光学元件(6)的射束入射面(6b、7b、...)上。本发明还涉及一种具有至少一个这种光学组件(23)的EUV辐射产生设备。
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公开(公告)号：CN112714883A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201880097485.7
申请日：2018-09-12
Applicant: 通快激光系统半导体制造有限公司
Inventor： O·埃里克松
Abstract: 本发明涉及一种尤其用于偏振激光射束(30)的光学组件(23)，其包括具有射束入射面(5a、6a、...)和射束出射面(5b、6b、...)的多个板状光学元件(5、6、...)和用于共同固定板状光学元件(5、6、...)的保持件(1)。在每两个相邻的板状光学元件(5、6、...)之间布置至少三个间距保持件(11a‑d)，所述间距保持件分别构造用于点状地贴靠在第一板状光学元件(5)的射束出射面(5a、6a、...)上以及点状地贴靠在相邻的第二板状光学元件(6)的射束入射面(6b、7b、...)上。本发明还涉及一种具有至少一个这种光学组件(23)的EUV辐射产生设备。
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公开(公告)号：CN115698809A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202080102151.1
申请日：2020-06-18
Applicant: 通快激光系统半导体制造有限公司
Abstract: 本发明涉及一种可校准的光学组件(10)，包括光学支架(12)，保持在所述光学支架(12)上的光学元件(14)，保持结构(16)，其中，所述光学支架(12)保持在所述保持结构(16)上的球关节(18)中，其中，设置第一校准装置(20)，用于将所述光学支架(12)相对于所述保持结构(16)绕着第一轴线(24)枢转，其中，设置第二校准装置(22)，用于将所述光学支架(12)相对于所述保持结构(16)绕着第二轴线(26)枢转，其中，所述球关节(18)布置在所述光学元件(14)与所述第一校准装置和第二校准装置(20、22)之间。
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