-
公开(公告)号：CN110551992A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910942611.0
申请日：2019-09-30
申请人： 辽宁科技大学
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/26 , C23C16/02 , C22C38/02 , C22C38/04 , C22C38/42 , C22C38/44 , C22C38/58
摘要： 本发明涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的方法，用13Cr超级马氏体不锈钢作为基体进行镀膜；在真空腔体内设金属网笼，带有防爆口的空心玻璃砖放设在真空腔体内，在绝缘玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼前后左右四面开口，使电子逃逸形成回路；将基体打磨后超声清洗，再放置于真空腔体的金属网笼内部进行高压清洗，基体的待镀膜面向上；在镀膜前制备Si/Si-C过渡层，提高膜基结合力；使用等离子体增强化学气相沉积技术制备DLC薄膜。优点是：基体的高模量解决了DLC薄膜制备过程中应力过大的问题。在超级马氏体不锈钢表面制备的DLC薄膜，结构致密、明显提高了基体硬度以及减摩耐蚀等性能。
-
公开(公告)号：CN208279681U
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201820718669.8
申请日：2018-05-15
申请人： 辽宁科技大学
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本实用新型涉及一种多源溅射镀膜装置，包括靶面窗口、溅射靶、筒形外壳、传动机构、工件架、热丝，溅射靶相对设置在筒形外壳上，筒形外壳的中间固定有工件架，溅射靶与工件架之间设有热丝，热丝与溅射靶之间设有靶面窗口，筒形外壳内设有轨道，靶面窗口通过传动机构可在轨道上对向开合。优点是：该装置整体结构简单，利用传动机构可实现靶面窗口的对向开合，配合相对设置的多个溅射靶，实现混合溅射多种薄膜材料的薄膜制备，还可按需求通过依次拉开靶面窗口的方式实现逐层选取不同靶材依次溅射薄膜，提高镀膜效率。
-
公开(公告)号：CN210506520U
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201921658204.9
申请日：2019-09-30
申请人： 辽宁科技大学
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/26 , C23C16/02 , C22C38/02 , C22C38/04 , C22C38/42 , C22C38/44 , C22C38/58
摘要： 本实用新型涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置，包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵，密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖，空心玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构，金属网笼前后左右均设有开口，使电子逃逸形成回路；样品架用于支撑基体置于金属网笼中央，样品架穿过金属网笼，样品架两端设置在金属网笼外部，底部支撑在真空腔体上；真空腔体上设有进气口；真空腔体通过带有阀门的管道与气瓶连接。优点是：结构合理，方便使用，利用本装置沉积的DLC膜，提高了膜基结合力，以延长其作为油管钢的使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
-
搜索结果
3 条记录 (耗时 0.016 秒)
