公开(公告)号：CN110551992A

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201910942611.0

申请日：2019-09-30

申请人： 辽宁科技大学

发明人： 周艳文 ,  张豫坤 ,  赵卓 ,  陈东旭 ,  王亚男 ,  吕哲 ,  邓洪运 ,  祁继隆 ,  杨力 ,  刘梦楠 ,  康红伟 ,  张晶

IPC分类号： C23C16/50 ,  C23C16/26 ,  C23C16/02 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/42 ,  C22C38/44 ,  C22C38/58

摘要： 本发明涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的方法，用13Cr超级马氏体不锈钢作为基体进行镀膜；在真空腔体内设金属网笼，带有防爆口的空心玻璃砖放设在真空腔体内，在绝缘玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼前后左右四面开口，使电子逃逸形成回路；将基体打磨后超声清洗，再放置于真空腔体的金属网笼内部进行高压清洗，基体的待镀膜面向上；在镀膜前制备Si/Si-C过渡层，提高膜基结合力；使用等离子体增强化学气相沉积技术制备DLC薄膜。优点是：基体的高模量解决了DLC薄膜制备过程中应力过大的问题。在超级马氏体不锈钢表面制备的DLC薄膜，结构致密、明显提高了基体硬度以及减摩耐蚀等性能。

公开(公告)号：CN210506520U

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201921658204.9

申请日：2019-09-30

申请人： 辽宁科技大学

发明人： 周艳文 ,  张豫坤 ,  赵卓 ,  陈东旭 ,  王亚男 ,  吕哲 ,  邓洪运 ,  祁继隆 ,  杨力 ,  刘梦楠 ,  康红伟 ,  张晶

IPC分类号： C23C16/50 ,  C23C16/26 ,  C23C16/02 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/42 ,  C22C38/44 ,  C22C38/58

摘要： 本实用新型涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置，包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵，密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖，空心玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构，金属网笼前后左右均设有开口，使电子逃逸形成回路；样品架用于支撑基体置于金属网笼中央，样品架穿过金属网笼，样品架两端设置在金属网笼外部，底部支撑在真空腔体上；真空腔体上设有进气口；真空腔体通过带有阀门的管道与气瓶连接。优点是：结构合理，方便使用，利用本装置沉积的DLC膜，提高了膜基结合力，以延长其作为油管钢的使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利