气体检测装置和气体检测方法

    公开(公告)号:CN112352152B

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN201980041505.3

    申请日:2019-04-24

    Abstract: 使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作,将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度,则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。

    使用金属氧化物半导体气体传感器的气体检测装置和气体检测方法

    公开(公告)号:CN112119298B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN201980032920.2

    申请日:2019-03-01

    Inventor: 井泽邦之

    Abstract: 由数字信息处理装置对在还原性气体中电阻值减小的金属氧化物半导体气体传感器的输出进行处理,通过与气体检测用的比较值比较来检测气体。数字信息处理装置从上述气体传感器的输出中提取表示空气中的气体传感器的电阻值的数据。数字信息处理装置产生比较值,以使得空气中的气体传感器的电阻值越高,空气中与气体中的电阻值的比越大。

    使用金属氧化物半导体气体传感器的气体检测装置和气体检测方法

    公开(公告)号:CN112119298A

    公开(公告)日:2020-12-22

    申请号:CN201980032920.2

    申请日:2019-03-01

    Inventor: 井泽邦之

    Abstract: 由数字信息处理装置对在还原性气体中电阻值减小的金属氧化物半导体气体传感器的输出进行处理,通过与气体检测用的比较值比较来检测气体。数字信息处理装置从上述气体传感器的输出中提取表示空气中的气体传感器的电阻值的数据。数字信息处理装置产生比较值,以使得空气中的气体传感器的电阻值越高,空气中与气体中的电阻值的比越大。

    气体检测装置和气体检测方法

    公开(公告)号:CN112352152A

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN201980041505.3

    申请日:2019-04-24

    Abstract: 使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作,将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度,则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。

    电化学气体传感器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109313159B

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201780038652.6

    申请日:2017-05-11

    Abstract: 电化学气体传感器具有:呈板状且具有凹部的陶瓷制的壳体、MEA、第一导电性气体扩散膜、第二导电性气体扩散膜、和以覆盖凹部的方式被固定在壳体上的金属制的盖。MEA具有离子导电性膜、在离子导电性膜表面的第一电极和在离子导电性膜背面的第二电极。壳体具有:从凹部的底面向壳体的底面延伸的第一电气布线;和从包围凹部的顶面向壳体的底面延伸的第二电气布线。第一导电性气体扩散膜配置于MEA与凹部的底面之间,且与第一电气布线电连接。第二导电性气体扩散膜配置于MEA与盖之间,且与盖电连接。盖固定在壳体的顶面上,且与第二电气布线电连接,第二导电性气体扩散膜被盖按压向MEA侧,在盖或壳体的底面设有气体导入部。提供一种容易小型化、性能偏差小且容易安装到印刷电路基板上的电化学气体传感器。

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