基于石墨烯MEMS的色彩调制器及其制作方法

    公开(公告)号:CN112987443A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110215810.9

    申请日:2021-02-26

    Abstract: 本申请涉及一种基于石墨烯MEMS的色彩调制器及其制作方法。该色彩调制器包括上反射镜、下反射镜、绝缘支撑层和石墨烯MEMS薄膜层,其中上反射镜、下反射镜、绝缘支撑层构成光学微腔,当光学微腔的腔长设定为1000‑1160nm,具有红、绿、蓝三原色对应波长三个共振透射驻波模式,从而可通过外加调制电压实现色彩的调节,也即,采用微腔技术和石墨烯调制技术制备得到色彩调制器,结构简单,调控率高,可在电压作用下对可见光波长范围内的光(颜色)进行调制,消除对RGB子像素的需求,在单个像素内即可实现单色光或多种混合色光的输出,从而降低功耗。该色彩调制器可应用于超高分辨率、超快调制和宽色域干涉调制器显示器。

    基于石墨烯MEMS的色彩调制器及其制作方法

    公开(公告)号:CN112987443B

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202110215810.9

    申请日:2021-02-26

    Abstract: 本申请涉及一种基于石墨烯MEMS的色彩调制器及其制作方法。该色彩调制器包括上反射镜、下反射镜、绝缘支撑层和石墨烯MEMS薄膜层,其中上反射镜、下反射镜、绝缘支撑层构成光学微腔,当光学微腔的腔长设定为1000‑1160nm,具有红、绿、蓝三原色对应波长三个共振透射驻波模式,从而可通过外加调制电压实现色彩的调节,也即,采用微腔技术和石墨烯调制技术制备得到色彩调制器,结构简单,调控率高,可在电压作用下对可见光波长范围内的光(颜色)进行调制,消除对RGB子像素的需求,在单个像素内即可实现单色光或多种混合色光的输出,从而降低功耗。该色彩调制器可应用于超高分辨率、超快调制和宽色域干涉调制器显示器。

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