感光性组合物与光刻胶
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104423166A

    公开(公告)日:2015-03-18

    申请号:CN201310730591.3

    申请日:2013-12-26

    CPC classification number: G03F7/033 C08L33/00 G03F7/027 G03F7/031

    Abstract: 本发明涉及一种感光性组合物与光刻胶。光刻胶由一感光性组合物经配制而形成。感光性组合物包括一粘合剂(binder agent)、一第一光反应单体(photomonomer)以及一光引发剂。粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元(repeating unit)I:其中R1为H或CH3,R2为C2~C4的烷基,n为2~40的整数,A为H或第一光反应单体(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物(lactic oligomer)及2个以上的不饱和丙烯酸酯系官能基,以粘合剂的固含量为100重量份为基准,第一光反应单体约为25~95重量份。光引发剂以粘合剂的固含量为100重量份为基准,光引发剂约为0.5~15重量份。

    感光性组合物与光致抗蚀剂

    公开(公告)号:CN102486614A

    公开(公告)日:2012-06-06

    申请号:CN201010597593.6

    申请日:2010-12-21

    CPC classification number: G03F7/033

    Abstract: 一种感光性组合物与光致抗蚀剂。光致抗蚀剂由感光性组合物经配制而形成。感光性组合物包括粘合剂、光交联单体及光起始剂。粘合剂由粘合组合物经聚合反应而形成。粘合组合物包括乳酸寡聚物。以该粘合剂的固含量为100重量份为基准,该光交联单体为约25~95重量份。以该粘合剂的固含量为100重量份为基准,该光起始剂为约0.5~15重量份。

    感光性组合物与光刻胶
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104423166B

    公开(公告)日:2019-02-01

    申请号:CN201310730591.3

    申请日:2013-12-26

    Abstract: 本发明涉及一种感光性组合物与光刻胶。光刻胶由一感光性组合物经配制而形成。感光性组合物包括一粘合剂(binder agent)、一第一光反应单体(photomonomer)以及一光引发剂。粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元(repeating unit)I:其中R1为H或CH3,R2为C2~C4的亚烷基,n为2~40的整数,A为H或第一光反应单体(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物(lactic oligomer)及2个以上的不饱和丙烯酸酯系官能基,以粘合剂的固含量为100重量份为基准,第一光反应单体约为25~95重量份。光引发剂以粘合剂的固含量为100重量份为基准,光引发剂约为0.5~15重量份。

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