公开(公告)号：CN102823331A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201080065601.0

申请日：2010-02-17

Applicant: 视觉动力控股有限公司

Inventor： 保卢斯·佩特鲁斯·玛利亚·布洛姆 ,  阿尔昆·阿方斯·伊丽莎白·史蒂文斯 ,  劳伦西亚·约翰娜·回吉布雷格特斯 ,  雨果·安东·玛丽·德哈恩 ,  安东尼尔斯·休伯特斯·万斯基恩戴尔 ,  埃德温·特斯莱格特 ,  尼古拉斯·克尼里斯·约瑟夫斯·万海宁根 ,  汤姆·惠斯卡姆普

IPC: H05H1/24 ,  C23C14/04

CPC classification number: H05H1/46 ,  C23C16/042 ,  C23C16/503 ,  C23C16/509 ,  H05H1/24 ,  H05H1/44 ,  H05H2001/466

Abstract: 用于在衬底附近产生用于图案化衬底表面的等离子体放电的设备，包括：具有第一放电部分的第一电极和具有第二放电部分的第二电极、在第一电极和第二电极之间产生高电压差的高压源、和相对于衬底定位第一电极的定位装置。该设备还具有中间结构，在使用时，该中间结构设置在第一电极和衬底之间，同时相对于衬底定位第一电极。